[发明专利]MEMS加速度传感器的多参数批量测试设备

说明书

技术领域

本发明涉及MEMS加速度传感器的标定校准技术，具体是一种MEMS加速度传感器的多参数批量测试设备。

背景技术

MEMS加速度传感器广泛应用于汽车工业、工业过程控制、医用保健、消费类电子、环保等领域。MEMS加速度传感器在研制后及使用前均需要通过各种试验进行性能参数的标定校准。根据不同的标定校准要求，MEMS加速度传感器需要进行力学试验、环境试验、长时间稳定性和重复性试验等。其中，力学试验又分为静力学试验和动力学试验。静力学试验包括重力场翻转试验、离心试验等。动力学试验包括动态试验、振动试验等。环境试验包括温度性能试验、电磁兼容试验等。在现有技术条件下，用于进行MEMS加速度传感器的性能参数的标定校准的设备主要有分度头（用于重力场翻转试验）、离心机（用于离心试验）、振动台（用于振动试验）、温度试验箱（用于温度性能试验）等。实践表明，上述标定校准设备由于自身结构所限，存在如下问题：一、在进行标定校准时，上述各种标定校准设备只能单独使用，因此MEMS加速度传感器的静力学试验、动力学试验、温度性能试验只能分开进行。这便导致标定校准耗时长、标定校准效率低。通常情况下，完成单个MEMS加速度传感器的静力学试验需要耗时0.5个小时左右，完成动力学试验需要耗时0.5个小时左右，加上传感器的手工装卡时间和数据处理时间，完成单个MEMS加速度传感器的力学试验至少需要耗时1.5个小时/人。完成单个MEMS加速度传感器的温度性能试验则需要耗时更长。二、在进行标定校准时，上述各种标定校准设备只能在常温下使用，而MEMS加速度传感器的实际使用环境却是复杂多变的，因此上述各种标定校准设备的标定校准能力有限，其通常无法发现MEMS加速度传感器在实际使用中的各种隐患，从而增大了MEMS加速度传感器的使用成本。三、在进行标定校准时，上述各种标定校准设备只能进行单件手动标定校准，因此在对批量MEMS加速度传感器进行标定校准时，上述各种标定校准设备只能抽样进行标定校准。这便导致无法得到MEMS加速度传感器的真实性能参数，并导致标定校准效率低、标定校准成本高。综上所述，现有标定校准设备存在标定校准耗时长、标定校准效率低、标定校准能力有限、以及无法实现批量化自动标定校准的问题。基于此，有必要发明一种全新的标定校准设备，以解决现有标定校准设备存在的上述问题。

发明内容

本发明为了解决现有标定校准设备存在标定校准耗时长、标定校准效率低、标定校准能力有限、以及无法实现批量化自动标定校准的问题，提供了一种MEMS加速度传感器的多参数批量测试设备。

本发明是采用如下技术方案实现的：MEMS加速度传感器的多参数批量测试设备，包括可变环境装置、批量化标定测试平台、自动装卡平台、多通道数据采集系统、可变环境控制系统、装卡控制系统、以及主控制系统；批量化标定测试平台、自动装卡平台、可变环境控制系统均安装于可变环境装置内；多通道数据采集系统的信号输出端与主控制系统的信号输入端连接；可变环境装置的信号传输端通过可变环境控制系统与主控制系统的信号传输端连接；自动装卡平台的信号传输端通过装卡控制系统与主控制系统的信号传输端连接；自动装卡平台与批量化标定测试平台配合连接。