[发明专利]树脂模塑方法及树脂模塑装置

说明书

技术领域

本发明涉及树脂模塑方法及树脂模塑装置，其中离型膜设置于模塑用模组的箝位面（clamping face）的至少一个工件载置面，该模塑用模组被设置为箝位状态，并且工件及其外周部在该模塑用模组中进行树脂模塑。

背景技术

申请人曾经发明了如下树脂模塑装置：在该树脂模塑装置中使用树脂和容易从模塑用模组剥离的长条状离型膜。在该树脂模塑装置中，缠绕在卷轴上的离型膜被供给到上模具的箝位面和下模具的箝位面之间的空间，并且离型膜被吸附。随后，工件与离型膜一起被载置在下模具的箝位面，树脂被供给到工件，工件的基板部通过箝位件箝位，并且工件被压缩模塑（见日本特开2000-277551号公报）。

通过使用上述树脂模塑装置，在模塑用模组中没有形成树脂毛刺并且树脂没有污染箝位面，使得能够从箝位面容易地移除模塑品。

在某些工件中，器件形成为靠近基板（例如晶片）的外边缘以用于大量生产。

在某些情况中，由于不能够通过例如箝位件箝位基板，所以难以将工件正确地定位和设定在模塑用模组中。特别地，在使用离型膜的情况下，离型膜被吸附保持在箝位面，但是工件仅载置于离型膜。因此，工件不能够正确地定位保持在模塑用模组，不能够防止由工件和模具之间的热膨胀系数差引起的工件的翘曲（warp age）。

此外，由于树脂模塑范围包括工件的外边缘，所以工件和保持在箝位面的离型膜之间的接触面积大。如果不从模塑品剥离离型膜，则难以平滑地从模塑用模组中取出模塑品。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供下述树脂模塑方法及树脂模塑装置，该树脂模塑方法和该树脂模塑装置能够解决传统技术的上述问题。即，本发明的方法和装置能够将工件正确地定位保持在模塑用模组的箝位面并且容易从模塑用模组移除外周部被树脂模塑的模塑品。

为了实现该目的，本发明具有以下结构。

即，在本发明的方法中，在模塑用模组中树脂模塑工件的一侧面，所述模塑用模组在箝位状态下树脂模塑工件，在所述模塑用模组中，所述工件被吸附保持在至少一个箝位面并且在外部尺寸比所述工件的外部尺寸大的模腔凹部中被树脂模塑。

所述方法包括以下步骤：

吸附保持第一离型膜，所述第一离型膜覆盖所述模塑用模组的所述至少一个箝位面；

将所述工件设定于所述模塑用模组；

通过所述第一离型膜的在保持所述第一离型膜之前或之后形成的工件吸附孔来吸附所述工件的另一侧面，以将所述工件保持在所述至少一个箝位面；

闭合所述模塑用模组以箝位所述工件；并且

对已被容纳在所述模腔凹部中的树脂进行加压和加热。

在该方法中，通过覆盖一个箝位面的离型膜的工件吸附孔吸附工件的另一侧面并且将工件的该另一侧面保持在该箝位面，使得工件能够正确地定位保持在该箝位面并且在不污染保持工件的该箝位面的状态下进行树脂模塑。

另一方面，本发明的树脂模塑装置在模塑用模组中对工件的一侧面进行树脂模塑，所述模塑用模组在箝位状态下树脂模塑工件，并且在所述模塑用模组中，工件被吸附保持在至少一个箝位面并且在外部尺寸比工件的外部尺寸大的模腔凹部中被树脂模塑。

所述树脂模塑装置包括：

所述模塑用模组，其包括：膜吸附孔，其形成于所述至少一个箝位面；工件吸引孔，其独立于所述膜吸附孔并且当离型膜被吸附保持时与所述离型膜的工件吸附孔连通；以及模腔凹部，用于模塑所述工件的树脂被供给到所述模腔凹部；

输送部件，其用于将所述工件输送到所述模塑用模组，从而通过所述离型膜的所述工件吸附孔吸附所述工件的另一侧面并且将所述工件保持在所述至少一个箝位面，并且所述输送部件还用于从所述模塑用模组取出模塑品；以及

剥离用部件，其用于在所述模塑用模组打开后从所述模塑品剥离粘在所述模塑品的所述离型膜。。

在树脂模塑装置中，模塑用模组打开，随后移除粘在模塑品上的离型膜。即使工件（模塑品）的外周部被树脂模塑，在打开模塑用模组之后，在将张力施加于离型膜的状态下通过剥离单元能够从模塑品移除粘在工件的另一侧面上的离型膜。因此，模塑品能够从模塑用模组顺利地取出。

在所述第一离型膜被吸附保持在所述至少一个箝位面之后，通过开孔夹具在所述第一离型膜形成所述工件吸附孔。

例如，通过将开孔夹具的针插入到形成于所述模塑用模组的工件载置面的工件吸引孔来形成所述工件吸附孔。

利用此结构，能够在第一离型膜被吸附保持在箝位面的状态下，确实地形成独立于膜吸附孔的工件吸附孔。