[发明专利]MEMS矢量水听器纤毛自动化粘接装置及方法

权利要求书

1.一种MEMS矢量水听器纤毛自动化粘接装置，其特征在于，所述粘接装置包括：

切割夹钳系统，用于切割纤毛；

切割驱动系统，与所述切割夹钳系统相连，用于驱动所述切割夹钳系统；

纤毛输送系统，用于输送纤毛；

芯片载台运动系统，用于承载并控制MEMS矢量水听器的芯片，芯片载台运动系统设有用于存储UV胶的UV胶存储槽；

紫外线固化机，用于固化MEMS矢量水听器中的UV胶；

紫外光机照射头，与所述紫外线固化机相连，用于射出紫外线；

电控箱，用于控制所述粘接装置的工作流程。

2.根据权利要求1所述的粘接装置，其特征在于，所述粘接装置还设有芯片检测系统，包括：

MEMS芯片检测显微系统，用于进行芯片粘接位置的图像识别；

粘接监测显微系统镜，用于监测纤毛与芯片的粘接；

粘接监测显微系统镜支撑系统，用于支撑所述粘接监测显微系统镜。

3.根据权利要求2所述的粘接装置，其特征在于，所述粘接位置为芯片的正中央位置。

4.根据权利要求1所述的粘接装置，其特征在于，所述切割夹钳系统包括电动夹爪和与所述电动夹爪相连的夹爪头，所述夹爪头上设有用于剪断纤毛的刀片。

5.根据权利要求1所述的粘接装置，其特征在于，所述纤毛输送系统包括两个位于同一竖直方向上的劈刀及分别固定所述劈刀的劈刀杆。

6.根据权利要求1所述的粘接装置，其特征在于，所述芯片载台运动系统为3自由度运动系统。

7.根据权利要求1所述的粘接装置，其特征在于，所述芯片载台运动系统包括芯片载台、位于芯片载台上的芯片夹具、位于芯片载台下方的载台Z向运动平台。

8.根据权利要求1所述的粘接装置，其特征在于，所述粘接装置还包括闭合设置的外框架。

9.一种如权利要求1所述的MEMS矢量水听器纤毛自动化粘接方法，其特征在于，所述方法包括：

S1、将UV胶存储槽移动到纤毛输送系统正下方，载台Z向运动平台向上运动，对纤毛最下端进行蘸胶；

S2、将芯片移动到MEMS芯片检测显微系统下方，进行芯片中心位置的图像识别，所述中心位置即为纤毛下端的粘接位置；

S3、将芯片中心位置移动到纤毛输送系统正下方，纤毛输送系统将纤毛向下精确输送到芯片中心位置；

S4、启动紫外线固化机，由紫外光机照射头射出紫外线，实现UV胶固化，将纤毛和芯片固连在一起；

S5、切割夹钳系统完全闭合剪断纤毛。

10.根据权利要求9所述的粘接方法，其特征在于，所述步骤S4中紫外线照射时间为5s。