[发明专利]基于板条结构的大功率532nm绿光激光器

权利要求书

1.基于板条结构的大功率532nm绿光激光器，其特征在于，包括：激光晶体（4），分居上述激光晶体（4）两侧的半导体激光泵浦模块（1、7），设置于上述激光晶体（4）与半导体激光泵浦模块（1、7）之间的透镜组，将上述半导体激光泵浦模块（1、7）发射出的泵浦光转换成高光束质量的基频激光的激光谐振腔，对上述基频激光进行调制的调制器件（9），以及对上述基频激光进行频率变换的绿光非线性晶体（16）；上述激光晶体（4）为板条形状的薄片，泵浦光的通光方向在薄片之内，激光晶体（4）的“C”轴竖直向上放置或者旋转90°水平放置；上述激光谐振腔由腔镜（3、5、8、10、11、12、14、15、17）组成，激光在激光器中形成“M” 字形光路。

2.根据权利要求1所述的基于板条结构的大功率532nm绿光激光器，其特征在于，上述腔镜包括：柱面镜（3、5）、平面镜（8、10、11、12、14、17）、凹面镜（15），上述柱面镜（3、5）设置于激光晶体（4）的一侧，平面镜（8、10、11、12、14、17）和凹面镜（15）设置于激光晶体（4）的另一侧，并且沿光路方向凹面镜（15）设置于绿光非线性晶体（16）之前，优选的，柱面镜（3、5）和平面镜（8、10、11、12、14）的端面镀有对1064nm激光高反膜，凹面镜（15）的端面镀有对1064nm激光高反膜、对532nm激光高透膜，平面镜（17）镀有对1064nm及532nm激光高反膜。

3.根据权利要求1所述的基于板条结构的大功率532nm绿光激光器，其特征在于，上述激光晶体（4）为Nd:YVO4晶体，或者Nd:YLF晶体、Nd:YAG晶体、Nd:Glass晶体、Yb:YAG晶体、Er:YAG晶体。

4.根据权利要求1所述的基于板条结构的大功率532nm绿光激光器，其特征在于，上述半导体激光泵浦模块（1、7）的中心波长为808nm或880nm。

5.根据权利要求1所述的基于板条结构的大功率532nm绿光激光器，其特征在于，上述半导体激光泵浦模块（1、7）发出的泵浦光经透镜组会聚成截面为长方形的一维平行光，上述一维平行光的上下宽度为激光晶体（4）厚度的一半，长度小于激光晶体（4）的长度。

6.根据权利要求1所述的基于板条结构的大功率532nm绿光激光器，其特征在于，上述分居激光晶体（4）两侧的半导体激光泵浦模块（1、7）同时泵浦中间的激光晶体（4），或者两个半导体激光泵浦模块（1、7）中的任意一个对激光晶体（4）进行单独泵浦。

7.根据权利要求1所述的基于板条结构的大功率532nm绿光激光器，其特征在于,上述调制器件（9）为声光调制器件、电光调制器件或吸收型被动调Q开关，优选的，上述调制器件（9）的两个端面均镀有1064nm增透膜。

8.根据权利要求1所述的基于板条结构的大功率532nm绿光激光器，其特征在于,上述绿光非线性晶体（16）为I类LBO，或者Ⅱ类LBO、Ⅱ类KTP、Ⅱ类BBO、Ⅱ类CLBO。

9.根据权利要求8所述的基于板条结构的大功率532nm绿光激光器，其特征在于, 上述绿光非线性晶体（16）的两个端面均镀有1064nm及532nm双色高透膜。

10.根据权利要求1至9任意一项所述的基于板条结构的大功率532nm绿光激光器，其特征在于,还包括：用于提高光束质量的光阑（13），上述光阑（13）设置于激光谐振腔内。