[发明专利]一种真空敏感元件及其刚性匹配方法

权利要求书

1.一种真空敏感元件，包括端杆(1)、双数片膜片(2)、中心杆（4），其特征是：膜片与膜片同方向成对内圆相接为轮（5），连成的轮（5）同方向外圆相连为焊接波纹管（6），焊接波纹管（6）一端与中心杆（4）相连，焊接波纹管（6）另一端与端杆(1)相连，形成密闭结构为真空状态，焊接波纹管（6）密闭结构内腔（7）放置一弹簧（3），弹簧（3）与焊接波纹管（6）为并联式连接。

2. 根据权利要求1所述的真空敏感元件，其特征是：所述膜片与膜片内圆的连接处为电子束焊接缝，连成的轮（5）同方向外圆连接处为电子束焊接缝，焊接波纹管（6）一端与端杆（1）外圆为真空电子束焊缝，焊接波纹管（6）一端与中心杆（4）外圆为真空电子束焊缝。

3.根据权利要求1或2所述的真空敏感元件，其特征是：弹簧最大外径（D_大）小于膜片（2）的内径（D_内），且弹簧最大外径（D_大）和膜片内圆连接处的焊缝之间有大于2.5㎜的间隙，弹簧（3）套在中心杆（4）的一端，弹簧的最小内径（D_小）大于中心杆直径（φ），弹簧的最小内径（D_小）与中心杆直径（φ）之间间隙配合，端杆（1）一端在焊接波纹管内腔的直径（D₁）小于弹簧内径（D_小），焊接波纹管（6）的长度（L_管）小于弹簧（3）的长度（L_簧）。

4.根据权利要求3所述的真空敏感元件，其特征是：膜片（2）的厚度为0.2㎜，弹簧（3）线径d在φ0.5㎜～φ2之间。

5. 根据权利要求4所述的真空敏感元件，其特征是：弹簧除氢处理。

6.一种如权利要求4所述的真空敏感元件的刚性匹配方法，其特征是：1～n个焊接波纹管（6）的刚性依次为K_1、K_2、K_3、K_4、K_5、K₆……K_n，且K₁＞K₂＞K₃＞K₄＞K₅＞K₆…＞K_n时，1～n个弹簧的刚性为k₁、k_2、k_3、k_4、k_5、k_6……k_n,且k₁＜k₂＜k₃＜k₄＜k₅＜k_6……＜k_n,当K₁+k₁匹配特性合格时，则刚性匹配递减法表达式为：K₁+k₁＞K₂+k₂＞K₃+k₃＞K₄+k₄＞K₅+k₅＞K₆+k_6……＞K_n+ k_n,n为大于等于1的整数。

7.根据权利要求6所述的一种真空敏感元件的刚性匹配方法，其特征是：焊接波纹管（6）的刚性为6.4～7.1kgf/mm,弹簧（3）的刚性为0.3～1.0kgf/mm。