[发明专利]陶瓷/金属纳米复合VC-Ni增韧涂层及其制备方法

权利要求书

1.一种陶瓷/金属纳米复合VC-Ni增韧涂层，其特征在于，以重量百分比计，组成元素为：

V                                    39.6%~69.8%；

C                                    15.1%~23.0%；

Ni                                   7.2%~45.3%。

2.根据权利要求1所述的陶瓷/金属纳米复合VC-Ni增韧涂层，其特征在于，以重量百分比计，组成元素为：

V                                   45.6%~65.4%；

C                                    18.1%~22.2%；

Ni                                   12.4%~36.3%。

3.根据权利要求2所述的陶瓷/金属纳米复合VC-Ni增韧涂层，其特征在于，以重量百分比计，组成元素为：

V                                    61.1%~62.1%；

C                                   20.6%~21.7%；

Ni                                  16.2%~18.3%。

4.根据权利要求1、2或3所述的陶瓷/金属纳米复合VC-Ni增韧涂层，其特征在于，所述的陶瓷/金属纳米复合VC-Ni增韧涂层包括VC相和金属Ni相；所述的VC相具有晶体结构，由VC晶粒组成；所述的VC相分散于金属Ni相中。

5.根据权利要求4所述的陶瓷/金属纳米复合VC-Ni增韧涂层，其特征在于，所述的VC晶粒的粒径为5~15nm，相邻两VC晶粒的距离为0.5~5nm。

6.根据权利要求1~5任一项所述的陶瓷/金属纳米复合VC-Ni增韧涂层的制备方法，其特征在于，包括：将VC靶安装在中频阴极上，Ni靶安装在直流阴极上，采用磁控溅射方法，对基体进行沉积，得到陶瓷/金属纳米复合VC-Ni增韧涂层。

7.根据权利要求6所述的陶瓷/金属纳米复合VC-Ni增韧涂层的制备方法，其特征在于，沉积前，真空室的本底压强小于等于8×10^-5Pa。

8.根据权利要求6所述的陶瓷/金属纳米复合VC-Ni增韧涂层的制备方法，其特征在于，沉积时，沉积温度为200℃~400℃，沉积压力为0.3Pa~1.0Pa。

9.根据权利要求6所述的陶瓷/金属纳米复合VC-Ni增韧涂层的制备方法，其特征在于，沉积时，VC靶溅射功率密度为：2.5~6.2W/cm²，Ni靶溅射功率密度为：0.05~0.5W/cm²。

10.根据权利要求6所述的陶瓷/金属纳米复合VC-Ni增韧涂层的制备方法，其特征在于，沉积时，基体的偏压为-10~-90V。