[发明专利]一种零疵病光学零件清洗方法

说明书

技术领域

本发明涉及光学加工技术领域，特别涉及一种零疵病光学零件加工过程中的清洗方法，该方法适用于精密光学零件每个面抛光完成后的成盘清洗，目的在于提高光学零件的表面疵病等级。

背景技术

超精密加工技术能力已经成为当今国家科技水平的一个重要体现，当超精密加工达到亚纳米量级时，其表面的清洁程度成为了一项重要的技术指标，目前应用于该领域的清洗方法很多，有溶液溶解、微腐蚀法和超声法、兆声法、等离子法等，但这些清洗方法均是针对光学零件成品的清洗方法，当某些微细加工辅料，如抛光粉的吸附能力过强时，上述清洗方法便不能完全发挥其作用。因此，亟需研究一种能够有效减少辅料对抛光表面的污染，降低最终光学清洗的难度，提高光学零件的表面疵病等级的清洗方法。

发明内容

本发明的目的在于提供一种零疵病光学零件清洗方法，该方法能够有效地提高精密光学零件的表面清洁程度。

为了实现上述目的，本发明采用了以下技术方案：

一种零疵病光学零件清洗方法，包括以下步骤：

在光学零件加工过程中对光学零件进行清洗，减少辅料对抛光表面的污染，加工完成后对光学零件再进行清洗。

所述加工过程中对光学零件进行清洗包括以下步骤：首先用质量分数20-40%的醋酸水溶液浸泡光学零件3-5min，然后用纯水对光学零件进行冲洗，冲洗时间为5-10s，冲洗后，使用零级长绒脱脂棉蘸蒸馏丙酮在1-2min内完成对光学零件表面的擦拭脱水。醋酸水溶液浸泡后使得零件加工过程中吸附的稀土抛光粉附着能力降低，并在蒸馏丙酮擦拭脱水过程中大部分抛光粉被去除。

所述加工过程中对光学零件进行清洗还包括以下步骤：用纯水对光学零件进行冲洗前，对醋酸水溶液浸泡后的光学零件用pH为7-8、质量分数为3-5%的APG洗液水溶液浸泡3-5min。APG洗液水溶液浸泡后使得零件加工过程中吸附的微小颗粒的附着能力降低，并在蒸馏丙酮擦拭脱水过程中大部分微小颗粒被去除。

与现有技术相比，本发明具有以下优点：本发明在光学零件加工过程中对光学零件即时清洗，可以有效减少辅料对抛光表面的污染，从而降低最终光学清洗的难度，提高光学零件的表面疵病等级，适用于单面或多面精密光学零件每个面抛光完成后的成盘清洗。

具体实施方式

下面结合实施例对本发明作进一步描述。

在光学零件加工过程中对光学零件进行清洗，减少辅料对抛光表面的污染，加工完成后对光学零件按照现有方法再进行清洗。加工过程中对光学零件进行的清洗参见以下实施例。

实施例一：

1）利用质量分数为30%的醋酸水洗液浸泡5min；

2）经过步骤1）后，利用pH=7、质量分数为5%的APG洗液水溶液浸泡5min；

3）经过步骤2）后，利用纯水进行冲洗，每个光学零件的冲洗时间为6s；

4）经过步骤3）后，使用零级长绒脱脂棉蘸蒸馏丙酮在1min内完成光学零件表面的擦拭脱水。用50倍显微镜检测零件表面无附着物质。最终成品用500倍显微镜检测零件表面无附着物质。

实施例二：

1）利用质量分数为40%的醋酸水洗液浸泡3min；

2）经过步骤1）后，利用pH=8、质量分数为3%的APG洗液水溶液浸泡5min；

3）经过步骤2）后，利用纯水进行冲洗，每个光学零件的冲洗时间为8s；

4）经过步骤3）后，使用零级长绒脱脂棉蘸蒸馏丙酮在2min内完成光学零件表面的擦拭脱水。用50倍显微镜检测零件表面无附着物质。最终成品用500倍显微镜检测零件表面无附着物质。

实施例三：

1）利用质量分数为20%的醋酸水洗液浸泡3min；

2）经过步骤1）后，利用pH=8、质量分数为5%的APG洗液水溶液浸泡3min；

3）经过步骤2）后，利用纯水进行冲洗，每个光学零件的冲洗时间为10s；

4）经过步骤3）后，使用零级长绒脱脂棉蘸蒸馏丙酮在2min内完成光学零件表面的擦拭脱水。用50倍显微镜检测零件表面无附着物质。最终成品用500倍显微镜检测零件表面无附着物质。

上述实施例一至三中APG洗液水溶液采用APG洗液（RQ1512）与水配制。

实施例四：

1）利用质量分数为20%的醋酸水洗液浸泡3min；

2）经过步骤1）后，利用纯水进行冲洗，每个光学零件的冲洗时间为10s；