[发明专利]全息变间距光栅曝光光路的装调方法

权利要求书

1.全息变间距光栅曝光光路的装调方法，其特征是，包括以下步骤：

步骤一、初建全息变间距光栅的曝光光路，将光栅基底中心所在位置设为系统坐标原点，法线方向设为正向，利用千分尺、量角器分别组建两支曝光光路，使各个空间滤波器（1-4）、非平面反射镜（1-5）的位置、偏转角与理想位置、偏转角接近；

步骤二、建立全息变间距光栅的曝光光路装调装置，令激光器（2）发出的光经过第一扩束镜（3）扩束，再经过分束器（4）后形成测试光和参考光两部分；测试光经过第一光纤传输器（5）进入曝光系统的一支光路中，其先后经过曝光系统的滤波器（1-4）、非平面反射镜（1-5）后经半反半透镜（7）透射；参考光经过第二光纤传输器（6）传输后再经第二扩束镜（8），经过第二扩束镜（8）扩束后入射到半反半透镜（7），参考光经半反半透镜（7）反射；经半反半透镜（7）透射的测试光与经半反半透镜（7）反射的参考光在CCD相机9的物平面发生干涉，干涉条纹被CCD相机（9）记录，传输给计算机（10）；

步骤三、计算机（10）处理干涉条纹，计算出光路参数的失调量；依据失调量调整光路空间滤波器（1-4）和非平面反射镜（1-5）的位置及偏转角，且调整半反半透镜（7）、CCD相机（9）、扩束镜（8）的接收角度，以利接收到清晰的干涉条纹；

步骤四、重复步骤二和步骤三直到失调量满足公差的要求；

步骤五、按照步骤二至步骤四，装调另一支光路；

步骤六、将光栅基底（1-7）固定在系统坐标原点位置，法线指向系统坐标中的正向，装调完成。

2.根据权利要求1所述的全息变间距光栅曝光光路的装调方法，其特征在于，步骤二中所述的第二扩束镜（8）、半反半透镜（7）、CCD相机（9）中心的水平高度相同，且装调过程中三者始终保持直角“L”型不变。

3.根据权利要求1所述的全息变间距光栅曝光光路的装调方法，其特征在于，步骤二中，在装调的过程中，半反半透镜（7）与CCD相机（9）始终正对着非平面反射镜（1-5）的中心，且CCD相机（9）的物平面中心在系统坐标中的位置不变，其相对于系统坐标正向的转角可测。