[发明专利]一种渐变性能铝掺杂氧化锌薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种渐变性能铝掺杂氧化锌薄膜的制备方法，其特征在于：所述方法为电子束蒸镀法，所述电子束蒸镀法所用基片台为基片承载面与底面具有设定倾斜角度的基片台，所述设定倾斜角度为0°~75°中的任一角度；靶材致密度为59~70%、靶基距为25~35cm、电子束流为25~35mA、工作气压为0.1~0.2Pa。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述方法，包括下述工艺步骤：

①将混合好的纳米氧化锌和氧化铝粉末压制成靶材块体，烧结成致密度为59~70%的陶瓷靶，靶基距为25~35cm；

②设置至少一个倾斜基片台，倾斜角度为0°~75°任一角度；

③清洗并安装基片，抽真空至10^-3Pa；基片加热至200~300℃，转速2转/min；通入氩气，电离清洗5分钟；通入氧气，氩气与氧气的流量比为1/1.4，将工作气压调至0.1~0.2Pa；

④开始蒸镀，高压为6kV，电子束流为25~35mA，蒸镀时间为60分钟，蒸镀后400℃退火1小时。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于：所述方法，包括下述工艺步骤：

①将混合好的纳米氧化锌和氧化铝粉末压制成靶材块体，粉末按照铝掺杂量为3.0wt%的比例均匀混合，烧结成致密度为59%的陶瓷靶，靶基距为25~35cm；

②设置倾斜角度为0°、15°、30°、45°、60°和75°的基片台各一个；

③清洗并安装基片，抽真空至10^-3Pa；基片加热至250℃，转速2转/min；通入氩气，电离清洗5分钟；通入氧气，氩气与氧气的流量比为1/1.4，将工作气压调至0.17Pa；

④开始蒸镀，高压为6kV，电子束流为30mA，蒸镀时间为60分钟，蒸镀后400℃退火1小时。

4.由上述任一权利要求所述方法制备的铝掺杂氧化锌薄膜。

5.根据权利要求4所述的薄膜，其特征在于：所述薄膜的厚度、方块电阻和透光率呈渐变性，所述薄膜厚度在50~3000nm、方块电阻在0.16~13kΩ/□、透光率在40%~80%范围内渐变。

6.根据权利要求5所述的薄膜，其特征在于：所述铝掺杂氧化锌薄膜的厚度、方块电阻和透光率渐变范围分别为150~250nm、13~4.7kΩ/□、82~80%。

7.根据权利要求5所述的薄膜，其特征在于：所述铝掺杂氧化锌薄膜的厚度、方块电阻和透光率渐变范围分别为160~1500nm、13~4.7kΩ/□、86~80%。

8.根据权利要求5所述的薄膜，其特征在于：所述铝掺杂氧化锌薄膜的厚度、方块电阻和透光率渐变范围分别为100~2000nm、0.36~0.16kΩ/□、51~40%。

9.根据权利要求5所述的薄膜，其特征在于：所述铝掺杂氧化锌薄膜的厚度、方块电阻和透光率渐变范围分别为80~2500nm、0.83~0.32kΩ/□、60~48%。

10.根据权利要求5所述的薄膜，其特征在于：所述铝掺杂氧化锌薄膜的厚度、方块电阻和透光率渐变范围分别为50~3000nm、5.4~0.86kΩ/□、80~64%。