[发明专利]蒸镀用掩模板及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及OLED显示屏制造技术领域，特别涉及一种蒸镀用掩模板及其制造方法。

背景技术

有机电致发光器件，具有自发光、反应时间快、视角广、成本低、制造工艺简单、分辨率佳及高亮度等多项优点，被认为是下一代的平面显示器新兴应用技术。在 OLED（Organic Light-Emitting Diode，有机电致发光二极管） 技术中，真空蒸镀中的掩模板技术是一项非常重要和关键的技术，该技术的精度等级直接影响 OLED 产品的质量和制造成本。

传统的蒸镀用的掩模板是先在掩模板上加工出所需要的蒸镀孔，再将该掩模板焊接到板框上。然而，在将掩模板焊接到板框上时，需要将掩模板拉平拉紧，而在掩模板上已经制好了蒸镀孔，在拉平的过程中，蒸镀孔会受到绷紧力而变形，使蒸镀孔偏离原来的设计尺寸和形状，造成形状和尺寸误差，而由于OLED显示屏的制造工艺对蒸镀孔的精度要求非常高，这种误差显然会对蒸镀效果产生非常大的负面影响，直接降低蒸镀效果，使生产出来的OLED显示屏存在较大的缺陷。

发明内容

本发明的主要目的在于，针对上述现有技术中的不足，提供一种蒸镀用掩模板及其制造方法，可以有效避免蒸镀孔变形，提高掩模板的精度和稳定性。

为实现上述发明目的，本发明采用以下技术方案。

本发明提供一种蒸镀用掩模板，包括板框和拉平固定于板框上的掩模板，所述掩模板上设置有多个规则排列的蒸镀孔，所述多个蒸镀孔位于掩模板的中央，所述蒸镀孔的外围设置有至少一排缓冲孔，每个所述缓冲孔与所述蒸镀孔平行设置。

优选地，所述掩模板横向设置有N列蒸镀孔，纵向设置有M行蒸镀孔，每行蒸镀孔的左右两边分别设置有一个所述缓冲孔，每列蒸镀孔的上下两边亦分别设置有一个所述缓冲孔，形成一圈缓冲带。

优选地，每个所述蒸镀孔内部设置有条形网格，所述蒸镀孔外设置有一排或一列缓冲孔，每排缓冲孔为N个，每列缓冲孔为M个，并分别与所述网格平行设置。

优选地，所述缓冲孔为矩形通孔或盲孔。

优选地，所述掩模板由镍铁合金或铟瓦合金制成，厚度为30～100μm。

优选地，所述板框由镍铁合金或铟瓦合金制成，厚度为14-50 mm，宽度为30-80 mm。

本发明还提供一种上述蒸镀用掩模板的制造方法，该方法依次包括以下步骤：

将所述掩模板裁成稍大于所述板框大小的尺寸，平放在所述板框上，将掩模板的四边拉平并贴紧在所述板框上；

将所述掩模板焊接于所述板框上；

沿所述板框的外边缘切除多余的部分；

在所述掩模板的外围开设至少一排缓冲孔；

在掩模板的中间开设所述蒸镀孔，并使所述缓冲孔与蒸镀孔平行设置。

优选地，所述沿板框的外边缘切除多余的部分的步骤具体为：

采用激光工艺将所述多余部分切除。

优选地，所述在蒸镀孔的外围开设至少一排缓冲孔的步骤具体包括：

沿掩模板的横向开设N列蒸镀孔，沿纵向设置有M行蒸镀孔，每行蒸镀孔的左右两边分别开设一个所述缓冲孔，每列蒸镀孔的上下两边亦分别开设一个所述缓冲孔，或者

每个所述蒸镀孔内部设置有条形网格，在所述蒸镀孔外设置有一排或一列缓冲孔，每排缓冲孔为N个，每列缓冲孔为M个，并分别与所述网格平行设置。

优选地，所述在掩模板上位于板框内处开设所述蒸镀孔的步骤具体为：

采用激光切割工艺或化学蚀刻工艺开设所述蒸镀孔。

本发明先将掩模板焊接于板框上，再在掩模板位于板框内处开设蒸镀孔，并在蒸镀孔旁设置缓冲孔，使得在蒸镀用掩模板制造完成后，掩模板上的蒸镀孔不会发生变形，在生产大尺寸的蒸镀用掩模板时，效果更加明显，因此可以有效地提高掩模板的精度和稳定性，显著提升OLED显示屏特别是大尺寸OLED显示屏的制造精度，降低制造成本。

附图说明

图1是本发明实施例中蒸镀用掩模板的结构示意图一。

图2是本发明实施例中蒸镀用掩模板的结构示意图二。

图3是本发明实施例中蒸镀用掩模板的制造方法的流程示意图。

本发明目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。

具体实施方式

以下将结合附图及具体实施例详细说明本发明的技术方案，以便更清楚、直观地理解本发明的发明实质。

图1是本发明实施例中蒸镀用掩模板的结构示意图一；图2是本发明实施例中蒸镀用掩模板的结构示意图二。