[发明专利]OLED蒸镀罩及其加工方法无效
| 申请号： | 201210569638.8 | 申请日： | 2012-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN102978568A | 公开（公告）日： | 2013-03-20 |
| 发明（设计）人： | 唐军 | 申请（专利权）人： | 唐军;钱超 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 广州市南锋专利事务所有限公司 44228 | 代理人： | 张志醒 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | oled 蒸镀罩 及其 加工 方法 | ||
1.一种OLED蒸镀罩，包括蒸镀板，所述蒸镀板包括ITO接触面和蒸镀面，所述蒸镀板上设置有多个呈中心对称状的蒸镀孔，其特征在于：所述蒸镀孔自所述蒸镀面贯穿至所述ITO接触面，且截面呈逐渐缩小态势。
2.如权利要求1所述的OLED蒸镀罩，其特征在于：所述蒸镀孔包括同轴的第一段和第二段，所述第一段呈喇叭状，第二段呈喇叭状或锥形。
3.如权利要求2所述的OLED蒸镀罩，其特征在于：所述蒸镀板的厚度为18～190μm。
4.如权利要求2所述的OLED蒸镀罩，其特征在于：所述蒸镀孔在第一段的倾角为35~45度。
5.如权利要求2所述的OLED蒸镀罩，其特征在于：所述第二段为锥形，且锥角为4~10度。
6.如权利要求5所述的OLED蒸镀罩，其特征在于：所述第二段的垂直深度为8～20μm。
7.如权利要求6所述的OLED蒸镀罩，其特征在于：所述第二段的垂直深度不大于第一段的垂直深度。
8.如权利要求2所述的OLED蒸镀罩，其特征在于：所述蒸镀板的材料为镍钴合金、镍铁合金、铟瓦合金中的任意一种，厚度为18～45μm。
9.一种OLED蒸镀罩的加工方法，OLED蒸镀罩包括蒸镀板，蒸镀板包括ITO接触面和蒸镀面，所述蒸镀板上设置有多个呈中心对称状的蒸镀孔，其特征在于：所述蒸镀孔自所述蒸镀面贯穿至所述ITO接触面，包括第一段和第二段，所述加工方法包括以下步骤：
采用蚀刻工艺在所述蒸镀面上加工出所述蒸镀孔的第一段；
采用激光工艺在所述第一段末端向所述ITO接触面加工出所述第二段，并使所述第一段与第二段同轴设置。
10.如权利要求9所述的加工方法，其特征在于：所述蒸镀板的厚度为18～190μm；所述蒸镀孔在第一段的倾角为35~45度，所述第二段为锥形，且锥角为4~10度。
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