[发明专利]微针治具

权利要求书

1.一种微针治具，其特征在于，包括载板和多个探针，所述载板包括第一表面层、第二表面层和中间层，所述中间层的材料为弹性体材料，所述第一表面层和所述第二表面层上具有多个与所述探针配合的通孔，各个所述探针分别贯穿所述第一表面层的所述通孔、所述中间层和所述第二表面层的所述通孔，所述多个探针的直径皆不大于0.1mm。

2.如权利要求1所述的微针治具，其中还包括侧壁，所述侧壁连接所述第一表面层和所述第二表面层，所述侧壁、所述第一表面层和所述第二表面层包裹所述中间层。

3.如权利要求1所述的微针治具，其中还包括一个或多个支撑柱，所述支撑柱穿过所述中间层，所述支撑柱的两个端部分别与所述第一表面层和所述第二表面层接触。

4.如权利要求1-3中任何一个所述的微针治具，其中所述弹性体材料为橡胶。

5.如权利要求4所述的微针治具，其中所述第一表面层和所述第二表面层的材料皆为绝缘材料。

6.如权利要求5所述的微针治具，其中所述第一表面层和所述第二表面层的材料皆为PPS。

7.如权利要求2所述的微针治具，其中所述侧壁的材料为PPS。

8.如权利要求3所述的微针治具，其中所述支撑柱的材料为绝缘材料。

9.如权利要求8所述的微针治具，其中所述支撑柱的材料的硬度大于所述中间层材料的硬度。

10.如权利要求9所述的微针治具，其中所述支撑柱的材料为PPS。