[发明专利]一种新型蓝宝石晶体生长炉炉体冷却系统

权利要求书

1.一种新型蓝宝石晶体生长炉炉体冷却系统，包括腔室主体水冷系统，上炉盖水冷系统和下炉盖水冷系统，其特征在于，所述腔室主体水冷系统为双层筒体之间加导流槽，冷却水一进一出，所述上炉盖水冷系统为单层炉盖悬挂金属导热板，金属导热板上焊接有金属水管，冷却水一进一出，所述下炉盖水冷系统为单层炉盖支撑金属导热板，金属导热板上焊接有金属水管，冷却水一进一出。

2.根据权利1所述一种新型蓝宝石晶体生长炉炉体冷却系统，其特征在于，所述腔室主体上有3-12个电极桩，1个进水管和1个出水管，所述上炉盖上有1个籽晶通孔，1个籽晶腔室，1个观察孔，1个观察孔遮挡片伺服机构，1个进水管和1个出水管，所述下炉盖上有3个电极桩，1个进水管和1个出水管。

3.根据权利1所述的一种新型蓝宝石晶体生长炉炉体冷却系统，其特征在于，所述金属导热板和金属水管的材质为钨，钼，铜和铝四中材料中的任意一种。