[发明专利]基于位移传感器的二维微动台

权利要求书

1.一种基于位移传感器的二维微动台，其特征在于，所述二维微动台包括二维驱动工作台和位于二维驱动工作台上的二维位移传感器，所述二维驱动工作台包括微动台基体，微动台基体内设有传感器连接台以及位于传感器连接台外侧的压电陶瓷放置区和杠杆放大机构，所述压电陶瓷放置区与杠杆放大机构、杠杆放大机构与微动台基体、杠杆放大机构与传感器连接台通过支撑柔性梁固定连接，所述二维位移传感器为二维梳齿位移传感器，包括传感器基体、位于传感器基体中间且与所述传感器连接台相连的连接块以及与传感器基体和连接块相连的传感器梳齿检测区。

2.根据权利要求1所述的二维微动台，其特征在于，所述传感器梳齿检测区设有若干梳齿组，梳齿组包括与传感器基体相连的静齿组和与连接块相连的动齿组。

3.根据权利要求2所述的二维微动台，其特征在于，所述动齿组与连接块之间通过若干柔性梁固定连接。

4.根据权利要求2所述的二维微动台，其特征在于，所述梳齿组包括若干相对垂直设置的X向梳齿组和Y向梳齿组。

5.根据权利要求1所述的二维微动台，其特征在于，所述二维位移传感器为硅基MEMS电容式位移传感器。

6.根据权利要求1所述的二维微动台，其特征在于，所述压电陶瓷放置区包括相对垂直设置的X向压电陶瓷放置区和Y向压电陶瓷放置区，所述杠杆放大机构包括相对垂直设置的X向杠杆放大机构和Y向杠杆放大机构，所述X向压电陶瓷放置区和X向杠杆放大机构、Y向压电陶瓷放置区和Y向杠杆放大机构分别通过支撑柔性梁固定连接。

7.根据权利要求1所述的二维微动台，其特征在于，所述传感器连接台四周连接有与支撑柔性梁相连的用于实现运动解耦的解耦柔性梁。

8.根据权利要求1所述的二维微动台，其特征在于，所述二维驱动工作台和二维位移传感器中间通过连接板固定连接，连接板中间位置设有过孔，所述连接块通过过孔与传感器连接台相连接。

9.根据权利要求8所述的二维微动台，其特征在于，所述连接块四个角部设有向上凸出的连接块支撑部，用于支撑所述二维位移传感器。