[发明专利]制备氧化锆基NOx传感器的方法有效
| 申请号： | 201210564623.2 | 申请日： | 2012-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN103884758A | 公开（公告）日： | 2014-06-25 |
| 发明（设计）人： | 冯涛;夏金峰;蒋丹宇;黄德信;徐兵;李雨林;粘洪强;徐海芳 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 主分类号： | G01N27/407 | 分类号： | G01N27/407;G01N27/409 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 郭辉 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制备 氧化锆 nox 传感器 方法 | ||
1.一种制备氧化锆基NOx传感器的方法，所述方法包括：
(1)提供NOx传感单元、氧传感单元和加热体；
其中，所述NOx传感单元由NOx敏感层、参比气体通道层、氧化锆层组成，所述NOx敏感层包括NOx测试电极层(Pt+ZrO2)、氧化锆层和参比电极（Pt）；
所述氧传感单元由氧敏感层、参比气体通道层和氧化锆层组成，所述氧敏感层包括氧测试电极层(Pt+Au+ZrO2)、氧化锆层和参比电极（Pt）；
所述加热体层包括绝缘层、加热电极、氧化锆层、引脚孔和引脚；(2)将所述NOx传感单元、氧传感单元和加热体层叠共烧，制得氧化锆基NOx传感器；
其中，所述加热体位于NOx传感单元和氧传感单元之间；
所述NOx传感单元、氧传感单元和加热体之间加入低温玻璃粉，在800～1200℃下进行低温共烧。
2.根据权利要求1所述的制备氧化锆基NOx传感器的方法，其特征在于：所述NOx测试电极层是Pt和ZrO2的混合物。
3.根据权利要求1所述的制备氧化锆基NOx传感器的方法，其特征在于：所述氧测试电极层是Pt、Au和ZrO2的混合物。
4.根据权利要求1所述的制备氧化锆基NOx传感器的方法，其特征在于：所述加热电极是Pt。
5.根据根据权利要求1所述的制备氧化锆基NOx传感器的方法，其特征在于：所述NOx传感单元可以检测出NOx和氧气的浓度；氧传感单元可以检测出氧气的浓度、将检测得到的电动势的信号经过计算可以NOx的浓度。
6.据根据权利要求1所述的制备氧化锆基NOx传感器的方法，其特征在于：所述叠层共烧的方式选自叠层热压和叠层温等静压。
7.据根据权利要求1所述的制备氧化锆基NOx传感器的方法，其特征在于：所述低温玻璃粉是熔化温度在500～1000℃之间的玻璃粉。
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