[发明专利]防止晶圆中心部分下垂的晶舟

说明书

技术领域

本发明涉及一种用来承载晶圆的装置，特别涉及一种防止晶圆中心部分下垂的晶舟。

背景技术

晶舟是用来存放和运送晶圆的装置，通常晶舟含有多个晶圆放置槽(slot)，每个晶圆放置槽可以放置一个晶圆。请参考图1和图2，图1为现有晶舟构造的立体结构，图2为现有晶舟俯视图。从图1中可以看到，现有晶舟1主要包括一个前侧壁10，一个后侧壁11，一个左侧壁12和一个右侧壁13。该四个侧壁共同界定出一个可以将晶圆互相平行放置在其中的空间。在现有晶舟的左侧壁12和右侧壁13还分别有一个脚架（分别为左脚架122和右脚架132），两个脚架相互平行。从图2中可以看到，现有晶舟1还进一步包括有位于前侧壁上的把手101。

现有晶舟，如2012年2月15日授权公告的中国专利CN101834154B所示，存在着一个缺陷，那就是放置在现有晶舟1内的晶圆会呈现中心部分下垂的现象。可参考图2，水平放置在现有晶舟1内的晶圆（未图示）只在左右两侧受到现有晶舟1左放置槽121和右放置槽131的支撑，而晶圆的中心部分则为悬空的状态，在地心引力的影响下，晶圆中心部位就自然往下垂，并且此下垂的情况会随着晶圆的尺寸加大、厚度变薄而愈加严重。晶圆的中心下垂会造成整个晶圆产生形变。这种晶圆的形变会造成后续制程的困难，例如影响磨机及自动黏晶片机等机台载入晶圆及取出晶圆的准确度，在比较严重的情况下，甚至会使晶圆整片报废，造成生产成本提高、良率下降的负面结果。

发明内容

本发明要解决的技术问题是晶圆放置在现有的晶舟内会呈现中心部分下垂的现象，造成整个晶圆产生形变的问题。

为解决上述问题，本发明提供了一种晶舟，包括：

由前侧壁、后侧壁、左侧壁和右侧壁形成的主体，所述主体界定出内部间隔区域，所述内部间隔区域中，所述左侧壁的内侧面包括由多个左内侧翼限定出的多个左放置槽，所述右侧壁的内侧面包括由多个右内侧翼限定出的多个右放置槽，所述左放置槽与所述右放置槽一一对应，使得一个所述左放置槽和一个所述右放置槽能够对应用于放置一个晶圆；

其中，所述左内侧翼有一段伸出所述左侧壁的内侧面，或者所述右内侧翼有一段伸出所述右侧壁的内侧面，或者所述左内侧翼有一段伸出所述左侧壁的内侧面同时所述右内侧翼有一段伸出所述右侧壁的内侧面。

可选的，所述左内侧翼有一段伸出所述左侧壁的内侧面同时所述右内侧翼有一段伸出所述右侧壁的内侧面，并且每一对对应的所述左内侧翼和所述右内侧翼连接成为一个整体的内侧翼。

可选的，所述本体还包括分别位于所述左侧壁和所述右侧壁底部用于支持整个晶舟的两个平行脚架。

可选的，所述脚架下底边上还包括有缺口，所述缺口用于卡置在相应的凸起上以防止晶舟移动。

可选的，所述前侧壁的外表面还包括有把手。

可选的，所述后侧壁包括两个平行的平板。

与现有技术相比，本发明具有以下优点：

本发明所提供的晶舟中，左内侧翼和右内侧翼至少有一个内侧翼进行了延长，从而使得左内侧槽和右内侧槽的总体长度增加，也就增加了放置在晶舟中的晶圆与侧槽的接触边长，从而能够防止放置在其中的晶圆中心部分下垂及形变的问题，可以提高晶圆的良率。

本发明所提供的晶舟在其底部的平行脚架上包括有缺口，该缺口与相应的凸起卡合，能防止晶舟移动，避免了放置在晶舟中的晶圆发生晃动，从而消除晶圆之间或者晶圆与晶舟侧槽之间发生相互碰撞的危险。

本发明所提供的晶舟符合行业规格标准，适于大量生产，具有广阔的市场前景。

附图说明

图1为现有晶舟立体示意图；

图2为现有晶舟俯视图；

图3为本发明实施一防止晶圆中心部分下垂的晶舟立体示意图；

图4为本发明实施一防止晶圆中心部分下垂的晶舟俯视图；

图5为本发明实施二防止晶圆中心部分下垂的晶舟俯视图。

具体实施方式