[发明专利]倒灌装置

说明书

技术领域

本发明涉及生产工艺领域，具体而言，涉及一种倒灌装置。

背景技术

现有技术中在对生产工艺过程中所使用的源液进行回收时，一般是由人工手动把 盛装源液的源液瓶倒转过来，并采用辅助气体将每一个源液瓶中的剩余源液的收集到 一个新的源液瓶中，直至将新的源液瓶收集满，此种收集方法虽然经济成本投入较低， 但是当所收集的源液具有毒性时，采用人工操作进行收集的方法存在很大的安全隐患， 一旦人员出现失误会造成摔瓶、爆瓶、漏液等重大安全事故，对操作人员生命安全带 来巨大威害，以太阳能行业中扩散工艺中所使用的POCl₃进行举例说明：

在太阳能行业，电池技术中有一项为扩散，目的是在清洗后的P型硅片基体(硼掺 杂)表面扩散磷原子，形成结深为0.3－0.5μm的P-N结。工艺过程是通过三氯氧磷 （POCl₃）在高温860℃左右与氧气（O₂）反应产生五氧化二磷（P₂O₅），对应的化 学方程式为：4POCl₃+3O₂=2P₂O₅+6Cl₂，其中，所产生的五氧化二磷（P₂O₅）与硅 （Si）反应生成二氧化硅（SiO₂）和磷原子（P），对应的化学方程式为： 2P₂O₅+5Si=5SiO₂+4P,其反应生成物二氧化硅（SiO₂）。该扩散工序所使用的POCl₃是扩散工序生产中的一种原材料，具有以下特性：

常温下为无色透明液体，通常采用玻璃瓶装，具有刺激性臭味，在潮湿空气中剧 烈发烟，分子式Cl3-O-P，分子量153.35，相对密度1.67，熔点1.25℃，沸点105.1℃， 在水、乙醇中分解形成磷酸及氯化氢，大量水骤然倒入时,可发生剧烈反应。健康危害： 不可吸入或食用；对眼睛、呼吸道粘膜有刺激作用，可引起眼和皮肤灼伤；严重病例 有窒息感、紫绀、肺水肿、心力衰竭，亦可发生肝肿大、蛋白尿、贫血及中性粒细胞 增多。危险特性：遇水猛烈分解，产生大量的热和浓烟，甚至爆炸。具有较强的腐蚀 性。燃烧(分解)产物：氯化氢、氧化磷、磷烷。环境标准：空气中有害物质的最高容 许浓度0.05mg/m3。

扩散工序所使用的POCl₃在使用过程中剩余2-3cm就会达不到工艺的要求从而浪 费，出现约5%~8%的POCl₃无法利用，为了使剩下的POCl₃得到充分的利用，需要把 所有剩下的POCl₃源液集中到一起之后重新利用，目前都是人工手动把盛装POCl₃的 源瓶倒过来用氮气把源液从瓶中压到另一个空的源瓶里面循环操作直至源瓶装满为 止，因为POCl₃为剧毒药品，采用人工操作进行POCl₃收集的方法存在很大的安全隐 患，一旦人员出现失误会造成摔瓶、爆瓶、漏液等重大安全事故，对操作人员生命安 全带来巨大威害。

针对相关技术中人工收集源液容易出现安全事故的问题，目前尚未提出有效的解 决方案。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种倒灌装置，以解决现有技术中人工收集源液容易 出现安全事故的问题。

为了实现上述目的，根据本发明，提供了一种倒灌装置，包括：第一壳体，内部 具有第一腔室，并具有第一盖板、旋转轴和设置在第一盖板上的进气端和出液端，旋 转轴的轴向方向与第一盖板相平行，第一腔室用于固定内部具有源液的第一源液瓶； 进气管，第一端与进气端相连接，第二端用于连接进气源；第二壳体，内部具有第二 腔室，并具有第二盖板和设置在第二盖板上的进液端，第二腔室用于固定第二源液瓶， 第二源液瓶为空瓶；第一导液管，连接在出液端和进液端之间；以及电机，与旋转轴 的第一端相连接，用于在上电后驱动旋转轴旋转预设角度。

进一步地，倒灌装置还包括：柜体，内部具有第三腔室，其中，第一壳体和第二 壳体均设置在第三腔室内；风扇，设置在柜体上，用于在上电后将第三腔室内的空气 排出；以及回收管道，设置在柜体外部，用于收集风扇的排出气体。