[发明专利]一种用于气体传感器的声表面波谐振器有效
| 申请号： | 201210563315.8 | 申请日： | 2012-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN103066943A | 公开（公告）日： | 2013-04-24 |
| 发明（设计）人： | 王文;谢晓;何世堂 | 申请（专利权）人： | 中国科学院声学研究所 |
| 主分类号： | H03H9/125 | 分类号： | H03H9/125;H03H9/25 |
| 代理公司： | 北京法思腾知识产权代理有限公司 11318 | 代理人： | 杨小蓉;杨青 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 气体 传感器 表面波 谐振器 | ||
1.一种用于气体传感器的SAW谐振器，所述的SAW谐振器（31）包括压电基片（32），置于压电基片（32）表面的第一叉指换能器（34）、第二叉指换能器（35）、分别与第一叉指换能器（34）、第二叉指换能器（35）外侧相邻的第一短路栅反射器（33）和第二短路栅反射器（36）、以及两个叉指换能器之间设置的金属膜（37），其特征在于：所述的第一叉指换能器（34）、第二叉指换能器（35）、第一短路栅反射器（33）、第二短路栅反射器（36）和金属膜（37）均采用厚铝薄金的双层电极结构，其中，铝的厚度为1%～1.3%λ，金的厚度为0.15%～0.25%λ，λ为声波波长。
2.根据权利要求1所述的用于气体传感器的SAW谐振器，其特征在于：所述的第一短路栅反射器（33）和第一叉指换能器（34）之间的边缘间距为0.75λ；所述的第二短路栅反射器（36）和第二叉指换能器（35）之间的边缘间距为0.5λ；所述的第一叉指换能器（34）、第二叉指换能器（35）与金属膜（37）之间的边缘间距均为3λ~10λ。
3.根据权利要求1所述的用于气体传感器的SAW谐振器，其特征在于：所述金属膜（37）的宽度为N×λ+0.3λ，N为大于10的整数。
4.根据权利要求1或3所述的用于气体传感器的SAW谐振器，其特征在于：所述的金属膜（37）的面积为2～4mm2。
5.根据权利要求1或2所述的用于气体传感器的SAW谐振器，其特征在于：所述的第一短路栅反射器（33）、第一叉指换能器（34）、第二叉指换能器（35）和第二短路栅反射器（36）的电极宽度均采用1/4λ。
6.根据权利要求1所述的用于气体传感器的SAW谐振器，其特征在于：所述的压电基片（32）为旋转42.75oY切割，X方向传播石英。
7.权利要求1或6所述的用于气体传感器的SAW谐振器，其特征在于：所述的压电基片（32）采用温度系数为零的ST石英基片。
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