[发明专利]一种能量天平悬挂系统的空气阻尼式定位装置无效
| 申请号： | 201210563313.9 | 申请日： | 2012-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN103063286A | 公开（公告）日： | 2013-04-24 |
| 发明（设计）人： | 鲁云峰;贺青;张钟华;李正坤;赵建亭;韩冰;胡鹏程;杨宏兴 | 申请（专利权）人： | 中国计量科学研究院 |
| 主分类号： | G01G21/00 | 分类号： | G01G21/00;G01G7/02 |
| 代理公司： | 北京思创毕升专利事务所 11218 | 代理人： | 刘明华 |
| 地址： | 100013 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 能量 天平 悬挂 系统 空气 阻尼 定位 装置 | ||
1.一种能量天平悬挂系统的空气阻尼式定位装置，其特征在于：
所述定位装置包括至少两个阻尼元件；一组所述阻尼元件均匀分布在能量天平（1）的载流线圈（2）底部；
单个所述阻尼元件包括阻尼器（3）和阻尼盒（4）；所述阻尼器（3）活动设置在所述阻尼盒（4）中，且所述阻尼器（3）顶部通过连接杆（8）与所述载流线圈（2）底部硬连接。
2.根据权利要求1所述的一种具有定位功能的能量天平，其特征在于：
所述阻尼器（3）和阻尼盒（4）构成空气阻尼器；
所述载流线圈（2）的定位精度为0.1μm～1μm，所述阻尼器（3）的数量为2或3个，所述阻尼器（3）外壁与所述阻尼盒（4）内壁的间隙＜2mm。
3.根据权利要求2所述的一种具有定位功能的能量天平，其特征在于：
所述载流线圈（2）的定位精度为0.1μm～0.5μm，所述阻尼器（3）的数量为3个，3个所述阻尼器（3）沿周向均匀分布在所述载流线圈（2）底部，所述阻尼器（3）外壁与所述阻尼盒（4）内壁的间隙＜1mm。
4.根据权利要求2所述的一种具有定位功能的能量天平，其特征在于：
所述载流线圈（2）的定位精度为0.5μm～1μm，所述阻尼器（3）的数量为2个，2个所述阻尼器（3）对称分布在所述载流线圈（2）底部，所述阻尼器（3）外壁与所述阻尼盒（4）内壁的间隙＜2mm。
5.根据权利要求1～4所述的一种具有定位功能的能量天平，其特征在于：所述阻尼器（3）的形状为圆杯状或叶片状。
6.根据权利要求1所述的一种具有定位功能的能量天平，其特征在于：
所述连接杆（8）的膨胀系数小于5×10-5，其材质为非金属材料。
7.根据权利要求6所述的一种具有定位功能的能量天平，其特征在于：
所述连接杆（8）的材料为陶瓷或石英。
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