[发明专利]一种晶体生长炉中籽晶与坩埚对中的调试方法及装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种晶体生长炉的调试及其装置，特别是一种晶体生长炉中籽晶与坩埚对中的调试方法及装置

背景技术

蓝宝石晶体炉是生长蓝宝石晶体的设备，主要由副室8，炉体9，炉盖10，炉底11，加热系统12，保温系统13，坩埚14，坩埚杆15组成，其中炉体为圆筒形状，上下开口通过炉盖和炉底密封炉体，炉盖中心和炉底中心与炉体轴心重合，炉盖上设有观察孔16，副室位于炉盖中心处，副室轴心与炉体轴心重合，副室内部沿轴心方向安置籽晶杆。坩埚通过坩埚杆放置炉体内部，其轴心与炉体同心，坩埚与炉体之间安置加热系统和保温系统。

生长晶体的关键步骤之一是保证坩埚与籽晶杆的轴心重合，通常采用的方法是用铅锤连接在籽晶杆上，以铅锤为标准，通过测量铅锤尖部与坩埚内壁之间的距离来调整坩埚位置来保证籽晶杆与坩埚同心。但由于炉体为密闭系统，内部装有加热系统，保温系统，坩埚，空间狭小，可视范围小，使用铅锤调整同心不方便观察和测量。

发明内容

本发明的目的是提供一种晶体生长炉中籽晶与坩埚对中的调试方法及装置，本方法可以解决籽晶杆与坩埚对中不方便的问题，同时不需要测量铅锤尖部与坩埚内壁之间的距离，且装置简便，适用。

为达到上述发明目的，本发明采用以下技术方案：

这种晶体生长炉中籽晶与坩埚对中的调试方法，它是通过安装在籽晶杆轴心位置的激光笔发光，从安放于坩埚口上沿并带有标尺的圆盘直接读出籽晶与坩埚轴心的偏差值，随后根据偏查值调整坩锅的位置。

这种用于上述调试方法的装置，它包括：夹头、激光笔及带有标尺的圆盘，在籽晶杆上固定带有激光笔的夹头，其激光笔的轴心与籽晶杆的轴心重合；带有标尺的圆盘安装在坩埚口上沿，圆盘外圆尺寸同坩埚外圆保持一致。

夹头通过定位螺钉I和定位螺孔I与籽晶杆连接，激光笔通过定位螺钉II和定位螺孔II与夹头连接。

所述的定位螺钉I、定位螺孔I的数量分别为至少3个，且均布在同一平面上。

所述的定位螺钉II、定位螺孔II的数量分别为至少3个，且均布在同一平面上。

所述圆盘的标尺为十字形状同时带有刻度。

本发明的优点是：通过本发明的方案可以解决籽晶杆与坩埚对中不方便的问题，同时不需要测量铅锤尖部与坩埚内壁之间的距离。

附图说明

图1：本装置中在籽晶杆上固定带有激光笔的夹头的结构示意图

图2：本装置中圆盘结构示意图

图3：本装置安装于蓝宝石晶体炉的结构示意图

图1、图2、图3中，1为籽晶杆，2为激光笔，3为夹头，4为定位螺钉I，5为定位螺孔I，6为定位螺钉II，7为定位螺孔II。

具体实施方式

在籽晶杆1上固定带有激光笔2的夹头3，其激光笔的轴心与籽晶杆的轴心重合。夹头3通过定位螺钉I 4和定位螺孔I 5与籽晶杆1连接，激光笔2通过定位螺钉II 6和定位螺孔II 7与夹头3连接，如图1所示。

在坩埚口上沿安放带有标尺的圆盘，圆盘的标尺为十字形状同时带有刻度，圆盘外圆尺寸同坩埚外圆保持一致，圆盘如图3所示。

对中时通过打开激光笔，通过观察孔观察激光光斑在十字标尺上的位置，根据位置显示的尺寸来调整坩埚的位置，最终完成籽晶杆与坩埚的对中。

激光笔与籽晶杆的固定采用具有轴对称的夹头来实现，激光笔的外形需要具有轴对称结构，以实现激光笔与夹头的连接，通常可采用圆柱形。