[发明专利]自冷式激光扫描振镜及抑制其温度漂移的方法

权利要求书

1.自冷式激光扫描振镜，包括由导热性好的材料制成的安装基体，所述安装基体内安装有工作部件，所述工作部件包括X振镜驱动板、X振镜、Y振镜驱动板和Y振镜，其特征在于，还包括用于抑制所述自冷式激光扫描振镜产生温度漂移的抑制装置，所述抑制装置包括：

安装于所述安装基体外侧的TEC制冷片；

安装于所述安装基体上用于检测安装基体的温度的温度传感器；

用于控制所述安装基体温度恒定的温控装置，所述温度传感器和所述TEC制冷片分别电连接所述温控装置。

2.根据权利要求1所述的自冷式激光扫描振镜，其特征在于：所述温控装置包括温控板，以及与所述温控板连接的电源模块和温度显示仪。

3.根据权利要求2所述的自冷式激光扫描振镜，其特征在于：所述温度显示仪包括用于设定所述安装基体的目标温度值的设定单元和用于显示所述安装基体的实时温度的显示单元。

4.根据权利要求1至3任一权利要求所述的自冷式激光扫描振镜，其特征在于：所述TEC制冷片的制热工作面与所述安装基体的表面贴合，所述制热工作面对所述安装基体进行加热以达到恒定的目标温度值。

5.根据权利要求4所述的自冷式激光扫描振镜，其特征在于：所述TEC制冷片通过设置于所述TEC制冷片外侧的TEC制冷片压板固定在所述安装基体上。

6.根据权利要求1至3任一权利要求所述的自冷式激光扫描振镜，其特征在于：所述TEC制冷片的制冷工作面与所述安装基体的表面贴合，所述制冷工作面对所述安装基体进行制冷以达到恒定的目标温度值，所述TEC制冷片的制热工作面上设有冷却装置。

7.根据权利要求6所述的自冷式激光扫描振镜，其特征在于：所述冷却装置包括安装在所述TEC制冷片制热工作面上的散热片，所述散热片上安装有散热风扇。

8.抑制自冷式激光扫描振镜温度漂移的方法，其特征在于：包括以下步骤：

步骤一：将TEC制冷片的制热工作面贴合在安装基体上并固定，将温度传感器安装于安装基体上；

步骤二：将所述TEC制冷片电极与温控装置电连接，将温度传感器的输出端与温控装置连接；

步骤三：在所述温控装置上设定目标温度值，所述目标温度值要高于工作部件自身产生的热量使安装基体能够达到的最高温度值，所述温控装置根据对所述温度传感器采样的实时温度值和所述目标温度值进行运算的结果来控制TEC制冷片的制热工作面对安装基体进行加热，将安装基体的温度控制在恒定的目标温度值上。

9.根据权利要求8所述的抑制自冷式激光扫描振镜温度漂移的方法，其特征在于：所述步骤三中的安装基体能够达到的最高温度值为所述自冷式激光扫描振镜未安装所述TEC制冷片且工作进入稳定状态时测得所述安装基体的温度值。