[发明专利]多晶硅型太阳能电池板及其制造方法

权利要求书

1.多晶硅型太阳能电池板的制造方法，其具有：

使用由掺杂为n型的硅构成的蒸镀材料，通过蒸镀法在基板表面形成非晶硅膜的工序；

对所述非晶硅膜的表层，用p型掺杂剂进行等离子体掺杂的工序；以及

在所述等离子体掺杂后的非晶硅膜上扫描等离子体，使非晶硅膜熔融且多晶化的工序。

2.多晶硅型太阳能电池板的制造方法，其具有：

使用由掺杂为p型的硅构成的蒸镀材料，通过蒸镀法在基板表面形成非晶硅膜的工序；

对所述非晶硅膜的表层，用n型掺杂剂进行等离子体掺杂的工序；以及

在所述等离子体掺杂后的非晶硅膜上扫描等离子体，使非晶硅膜熔融且多晶化的工序。

3.如权利要求1或2所述的多晶硅型太阳能电池板的制造方法，其中，所述基板包括玻璃及石英中的任一种。

4.如权利要求1或2所述的多晶硅型太阳能电池板的制造方法，其中，所述基板为导电体。

5.如权利要求1或2所述的多晶硅型太阳能电池板的制造方法，其中，所述扫描的等离子体为大气压等离子体。

6.如权利要求1或2所述的多晶硅型太阳能电池板的制造方法，其中，所述扫描的速度为100mm/秒以上且2000mm/秒以下。

7.多晶硅型太阳能电池板，其通过权利要求1或2所述的方法而获得。