[发明专利]拓扑绝缘体结构有效
| 申请号: | 201210559554.6 | 申请日: | 2012-12-21 |
| 公开(公告)号: | CN103022344A | 公开(公告)日: | 2013-04-03 |
| 发明(设计)人: | 薛其坤;何珂;马旭村;陈曦;王立莉;常翠祖;冯硝;李耀义;贾金锋 | 申请(专利权)人: | 清华大学;中国科学院物理研究所 |
| 主分类号: | H01L43/08 | 分类号: | H01L43/08;H01L43/10;C01B19/00 |
| 代理公司: | 深圳市鼎言知识产权代理有限公司 44311 | 代理人: | 哈达 |
| 地址: | 100084 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 拓扑 绝缘体 结构 | ||
1.一种拓扑绝缘体结构,包括:
绝缘基底;
设置在绝缘基底表面的磁性掺杂拓扑绝缘体量子阱薄膜;
其特征在于,该磁性掺杂拓扑绝缘体量子阱薄膜的材料由化学式Cry(BixSb1-x)2-yTe3表示,其中0.05<x<0.3,0<y<0.3,且1:2<x:y<2:1,该磁性掺杂拓扑绝缘体量子阱薄膜的厚度为3QL至5QL。
2.如权利要求1所述的拓扑绝缘体结构,其特征在于,2:3≤x:y≤25:22。
3.如权利要求1所述的拓扑绝缘体结构,其特征在于,该磁性掺杂拓扑绝缘体量子阱薄膜的厚度为5QL。
4.如权利要求1所述的拓扑绝缘体结构,其特征在于,该绝缘基底的材料为钛酸锶。
5.如权利要求1所述的拓扑绝缘体结构,其特征在于,该拓扑绝缘体结构进一步包括一背栅电极设置在该绝缘基底的远离该磁性掺杂拓扑绝缘体量子阱薄膜的表面。
6.如权利要求1所述的拓扑绝缘体结构,其特征在于,该磁性掺杂拓扑绝缘体量子阱薄膜为Cr0.15(Bi0.10Sb0.9)1.85Te3,厚度为5QL,绝缘基底的材料为钛酸锶。
7.如权利要求1所述的拓扑绝缘体结构,其特征在于,该磁性掺杂拓扑绝缘体量子阱薄膜的载流子浓度为1×1013cm-2以下。
8.如权利要求1所述的拓扑绝缘体结构,其特征在于,该磁性掺杂拓扑绝缘体量子阱薄膜的反常霍尔电阻RAH为7.74kΩ≤RAH≤25.8kΩ,且反常霍尔角α≥0.2。
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