[发明专利]一种控制化学液温度的装置及方法

权利要求书

1.一种控制化学液温度的装置，主管路末端通过多条并行管路与工艺腔室连接，在所述每条并行管路上安装气动阀，其特征在于，在气动阀与各相对应的工艺腔室之间的每条管路上安装加热装置，所述加热装置靠近工艺腔室。

2.如权利要求1所述装置，其特征在于，所述加热装置为加热带，加热带缠绕在管路上，所述加热带的接头与电源直接相连。

3.如权利要求1所述装置，其特征在于，在每个加热装置上连接控制器。

4.如权利要求3所述装置，其特征在于，所述控制器为数字显示温控器。

5.如权利要求1所述装置，其特征在于，在所述加热装置与工艺腔室间靠近工艺腔室侧的管路上分别安装温度传感器。

6.一种控制化学液温度的方法，该方法包括在主管路末端对化学液进行加热，加热后的化学液通过多条并行管路进入到各自的工艺腔室，其特征在于，在每条并行管路靠近工艺腔室侧安装加热装置对化学液进行加热。

7.如权利要求6所述方法，其特征在于，在所述加热装置上安装数字显示温控器对化学液温度进行监控。

8.如权利要求6所述方法，其特征在于，在所述工艺腔室侧安装温度传感器对加热后的化学液进行温度测量。