[发明专利]物品运送设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种物品运送设备，设置有：行进轨道，被从顶板部垂吊支承，并对物品运送车进行引导；物品载置体，配置在上述行进轨道的横向侧方且下方位置，载置支承在与上述物品运送车之间移载的物品；以及支承机构，以能够位置调节至与上述物品运送车之间移载物品的移载用位置和从该移载用位置向上方退避的退避位置的方式从上述顶板部垂吊支承上述物品载置体。

背景技术

如上所述的物品运送设备例如设置在洁净室内，用于将收纳硅基板等基板的收纳容器作为物品进行运送。

即，以经由对于基板进行多种处理的多个基板处理装置的运入运出部的状态配设行进轨道，物品运送车对于多个基板处理装置运送物品。并且，物品载置体被用于处理途中的物品的临时保管。

即，物品载置体能够利用行进轨道的横向侧方的空间而在行进轨道的长度方向的各处设置多个，因此，通过将处理途中的物品保管于接着应运送的基板处理装置的附近的物品载置体，在提高物品的运送效率方面是有利的。并且，在没有设置物品载置体的情况下，在将保管处理途中的物品的保管装置设置在地面上时，需要设置大规模的保管装置，但借助设置物品载置体，能够不需要保管装置或者实现保管装置的小型化。

并且，在物品运送设备中，有时物品载置体会成为阻碍，例如在洁净室中为了布局变更等而将基板处理装置运入运出时，虽位于顶板部侧但位于比行进轨道靠下方的物品载置体会成为基板处理装置的运送的阻碍等。此时，能够使物品载置体从移载用位置位置变更至向上方退避的退避位置，因此能够避免物品载置体成为阻碍。

在日本特开2008-169005号公报（专利文献1）中公开了这样的物品运送设备的一个例子，在没有载置物品的状态下，以能够位置变更至移载用位置和退避位置的方式支承设置于该物品运送设备的物品载置体。

即，在该专利文献1中，借助弯折自如地连结多个连杆而成的连杆机构，相对于顶板部垂吊支承物品载置体。并且，在使物品载置体位于移载用位置时，连杆机构成为直线状地延伸的姿态，在使物品载置体位于退避位置时，连杆机构以在物品载置体的上方重叠的状态成为弯折姿态。因此，在将物品载置体从移载用位置向退避位置位置变更时，在物品载置体的上方不能确保用于物品存在的空间，其结果，在使物品载置体位于退避位置时，不能在物品载置体上载置物品。

而且，在专利文献1的物品运送设备中，如果使物品载置体位于退避位置，则物品载置体和顶板部之间的间隔变得比用于使物品存在所需要的间隔要小。从这一点来说，在将物品载置体从移载用位置向退避位置位置变更时，在物品载置体的上方不能确保用于物品存在的空间，在使物品载置体位于退避位置时，不能在物品载置体上载置物品。

另外，在专利文献1中，作为其他实施方式还记载了下述内容：使用沿上下方向滑动的滑动机构而使物品载置体位置变更至移载用位置和退避位置。即使使用这样的滑动机构，在使物品载置体位于退避位置时，由于物品载置体和顶板部之间的间隔变得比用于使物品存在所需要的间隔要小，因此在使物品载置体位于退避位置时，也不能在物品载置体上载置物品。

在产生使物品载置体从移载用位置退避至退避位置的需要时，有时在使之退避的物品载置体上载置有物品。在这种情况下，在以往的物品运送设备中，首先用手动操作从物品载置体去除物品，其后使物品载置体位置变更至退避位置，因此将物品载置体位置变更至移载用位置和退避位置的操作为复杂的操作。

而且，在将物品载置体从退避位置返回至移载用位置时，需要用手动操作将去除的物品返回为与去除之前相同的状态，从这一点来说，将物品载置体位置变更至移载用位置和退避位置的操作为复杂的操作。

另外，一般地，被运送的物品的位置由管理物品运送设备的管理机构管理，因此在将去除的物品返回物品载置体时，需要正确地返回至与去除之前相同的位置。

但是，在多个物品载置体同时退避至退避位置时等，有可能产生去除的物品返回的位置与去除之前不同的错误而导致不能适当地进行被运送的物品的位置管理。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的在于提供一种物品运送设备，能够实现将载置有物品的物品载置体位置变更至移载用位置和退避位置的操作的简化。

本发明的物品运送设备具备：

行进轨道，被从顶板部垂吊支承，对物品运送车进行引导；

物品载置体，配置在上述行进轨道的横向侧方且下方位置，对在与上述物品运送车之间移载的物品进行载置支承；