[发明专利]一种蓝宝石表面化学机械平整化加工方法无效
| 申请号： | 201210556444.4 | 申请日： | 2012-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN103878662A | 公开（公告）日： | 2014-06-25 |
| 发明（设计）人： | 顾小玲 | 申请（专利权）人： | 江苏天恒纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B9/16 | 分类号： | B24B9/16 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 226000 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 表面 化学 机械 平整 加工 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种蓝宝石表面化学机械平整化加工方法，其特征在于：包括以下步骤：
A．粘片 将蓝宝石片长有器件的一面用粘片设备粘在玻璃片上；
B．粗磨 利用粗磨机将蓝宝石衬底的厚度减薄至150μm左右，粗糙度为2.0μm左右；
C．细磨 用细磨机将蓝宝石衬底的厚度减薄至90~100μm，粗糙度为0.5μm左右，厚度均匀度在2.0μm以内；
D．粗抛 用粗抛机和粗抛液对蓝宝石衬底进行抛光，粗糙度0.1μm，厚度均匀度1.0μm以内；
E．精抛 用精抛机和精抛液对蓝宝石衬底进行抛光，使粗糙度到20μm以下。
2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石表面化学机械平整化加工方法，其特征在于：所述加工方法的加工条件为温度25-35℃，压力1-5kg。
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