[发明专利]一种应用于泡生法蓝宝石单晶生长的保温结构无效
申请号: | 201210553985.1 | 申请日: | 2012-12-19 |
公开(公告)号: | CN102965726A | 公开(公告)日: | 2013-03-13 |
发明(设计)人: | 王庆国;钱兵;朱烨;汪红卫;鞠星 | 申请(专利权)人: | 苏州巍迩光电科技有限公司 |
主分类号: | C30B17/00 | 分类号: | C30B17/00;C30B29/20 |
代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人: | 董建林 |
地址: | 215211 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 应用于 泡生法 蓝宝石 生长 保温 结构 | ||
1.一种应用于泡生法蓝宝石单晶生长的保温结构,设置于不锈钢桶内,其特征是:采用以钨或钼为材料的金属薄板作热屏,所述热屏包括水平式热屏、垂直式热屏和倾斜式热屏;
所述水平式热屏为中心开孔的圆环形;
所述倾斜式热屏为带45°倾角的圆锥状热屏,设置于水平式热屏与坩埚之间的空间中;
所述垂直式热屏为竖直圆筒状,可容纳水平式热屏和倾斜式热屏。
2.根据权利要求1所述的一种应用于泡生法蓝宝石单晶生长的保温结构,其特征是:所述热屏为多层,靠近坩埚或加热器侧的层的材料为钨,其余层的材料为钼。
3.根据权利要求1所述的一种应用于泡生法蓝宝石单晶生长的保温结构,其特征是:所述水平式热屏为多层,靠近加热器侧的一层材料为钨,其余各层材料为钼,各层间狭缝用钼片做垂直间隔支撑。
4.根据权利要求3所述的一种应用于泡生法蓝宝石单晶生长的保温结构,其特征是:所述水平式热屏共28层,靠近加热器侧的钨层厚2mm,其余各钼层厚度为1mm,各层间的间距为5-7mm。
5.根据权利要求1所述的一种应用于泡生法蓝宝石单晶生长的保温结构,其特征是:所述倾斜式热屏为多层,靠近加热器侧的一层材料为钨,其余层材料为钼,各层均与水平呈45°倾角。
6.根据权利要求5所述的一种应用于泡生法蓝宝石单晶生长的保温结构,其特征是:所述倾斜式热屏共12层,靠近加热器侧的钨层厚度为2mm,其余各钼层厚度为1mm。
7.根据权利要求1所述的一种应用于泡生法蓝宝石单晶生长的保温结构,其特征是:所述垂直式热屏厚度0.5mm,各层间的间距为5-7mm,各层间用钼片做间隔支撑;所述垂直式热屏内侧为圆筒状的钨制保温内层,厚度为2mm。
8.根据权利要求1所述的一种应用于泡生法蓝宝石单晶生长的保温结构,其特征是:不锈钢桶与垂直式热屏之间填充厚度在30-50mm的空心泡壳。
9.根据权利要求8所述的一种应用于泡生法蓝宝石单晶生长的保温结构,其特征是:上、下部分填充的空心泡壳为Al2O3空心泡壳,空心泡壳粒径为3-4mm;中间部分填充的空心泡壳为ZrO2空心泡壳,粒径为1-2mm;填充的空心泡壳厚度均为40-50mm。
10.根据权利要求1所述的一种应用于泡生法蓝宝石单晶生长的保温结构,其特征是:所述不锈钢桶内的底部设置氧化锆保温砖,厚度为50-70mm。
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