[发明专利]光调变器在审
| 申请号： | 201210553973.9 | 申请日： | 2012-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN103885131A | 公开（公告）日： | 2014-06-25 |
| 发明（设计）人： | 黄新舜 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/42 | 分类号： | G02B6/42;G02F1/035 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光调变器 | ||
【权利要求书】：
1.一种光调变器，包括：
衬底，具有相对的第一表面和第二表面；
接地电极，位于所述第一表面；
平面光波导，位于所述第二表面用于与一光源对接以接收所述光源发出的光束；
光栅，形成于所述平面光波导上，所述光栅沿平行所述光束的入射方向设置并与所述平面光波导构成一光波导透镜；以及，
调变电极，位于所述光栅上，用于与所述接地电极之间形成一调变电场以通过电光效应改变所述平面光波导的折射率从而改变所述光波导透镜的焦距。
2.如权利要求1所述的光调变器，其特征在于，所述调变电极与所述光栅之间进步一设置有含硅薄膜。
3.如权利要求2所述的光调变器，其特征在于，所述含硅薄膜包括硅薄膜或二氧化硅薄膜。
4.如权利要求1所述的光调变器，其特征在于，所述衬底的材料铌酸锂晶体。
5.如权利要求1所述的光调变器，其特征在于，所述光栅的截面为长方形或正方形。
6.如权利要求1所述的光调变器，其特征在于，所述平面光波导通过于所述衬底上扩散金属钛而形成。
7.如权利要求6所述的光调变器，其特征在于，所述光栅藉由蚀刻所述平面光波导而成。
8.如权利要求1所述的光调变器，其特征在于，所述调变电极的材料为铝。
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