[发明专利]氢氟酸灌装系统有效

专利信息
申请号: 201210553002.4 申请日: 2012-12-19
公开(公告)号: CN103879944A 公开(公告)日: 2014-06-25
发明(设计)人: 吴建良;胡美艳 申请(专利权)人: 昆山晶科微电子材料有限公司
主分类号: B67C7/00 分类号: B67C7/00;B67C3/02;B67C3/26;B65G47/90;G05B19/05
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地址: 215341 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 氢氟酸 灌装 系统
【说明书】:

技术领域

发明涉及一种氢氟酸灌装系统。

背景技术

随着半导体、液晶及太阳能电池等制造产业的发展,在生产中对氢氟酸的需求量逐年增加,对于氢氟酸的灌装若依然采用原先的人工操作或半自动化方法将难以满足生产要求,这其中,除了对人力的消耗外,由于氢氟酸属于一种会对人体产生伤害的有毒化学药品,长期接触或疲劳操作都会对人身安全产生威胁。

发明内容

发明目的:为了克服现有技术中存在的不足,本发明提供一种氢氟酸灌装系统,能够全自动化完成对氢氟酸的灌装,以提高氢氟酸的灌装效率,避免人工操作的危害。

技术方案:为解决上述技术问题,本发明采用的技术方案为:

氢氟酸灌装系统,包括原料罐、料槽、灌装机头、传送带装置、灌装瓶、瓶盖机械手、位置感应器和控制器,所述原料罐的出料口与料槽的进料口之间通过硬质管路连通,在硬质管路上设置有流量泵;所述料槽的出料口与灌装机头之间通过软质管路连通;所述控制器包括流量泵控制模块、传送带控制模块、灌装机头上下运动控制模块、灌装机头送料开关控制模块、瓶盖机械手上下运动控制模块、瓶盖机械手旋转推进模块和瓶盖机械手取料模块;

所述流量泵控制模块用于控制流量泵工作,将原料罐内的氢氟酸输送至料槽内;

所述位置感应器用于感应灌装瓶是否到达灌装位置或上瓶盖位置,并将感应结果传送给传送带控制模块;

若灌装瓶到达灌装位置,则传送带控制模块控制传送带装置停止传送,然后灌装机头上下运动控制模块驱动灌装机头向下运动至灌装机头的出料口伸入到灌装瓶内,随后灌装机头送料开关控制模块控制灌装机头向灌装瓶内送料至送料完成,最后灌装机头上下运动控制模块驱动灌装机头向上运动复位,传送带控制模块控制传送装置回复传送;

若灌装瓶到达上瓶盖位置,则传送带控制模块控制传送带装置停止传送,然后瓶盖机械手上下运动控制模块控制瓶盖机械手向下运动至灌装瓶瓶口,然后瓶盖机械手旋转推进模块控制瓶盖机械手向下旋转推进将瓶盖盖在灌装瓶上,随后瓶盖机械手上下运动控制模块控制瓶盖机械手向上运动至取瓶盖处,瓶盖机械手取料模块控制瓶盖机械手抓取瓶盖后复位,传送带控制模块控制传送装置回复传送。

优选的,所述料槽内设置有液位开关,所述液位开关对料槽内氢氟酸的液面高度进行检测并将检测结果发送给流量泵控制模块,若液面高度低于最低位置则通过流量泵控制模块驱动流量泵向料槽输送氢氟酸,若液面高度高于最高位置则通过流量泵控制模块停止流量泵向料槽输送氢氟酸。

优选的,所述控制器为基于可编程控制器和触摸屏设计的人机互动控制系统,比如由三菱高性能可编程控制器FX3U与三菱触摸屏GOT1000构成。

优选的,还包括放瓶机械手和取瓶机械手,所述控制器还包括放瓶机械手控制模块和取瓶机械手控制模块;所述放瓶机械手控制模块控制放瓶机械手向传送带装置上放置空的灌装瓶,所述取瓶机械手控制模块控制取瓶机械手从传送带装置上取走满的灌装瓶。

优选的,所述灌装机头为气动阀门结构,所述灌装机头送料开关控制模块对气动阀门的启闭进行控制。

有益效果:本发明提供的氢氟酸灌装系统,能够自动化完成氢氟酸的灌装生产,实现氢氟酸的灌装自动化,提高生产效率,避免人工操作危害。

附图说明

图1为本发明的结构示意图;

图2为本发明中控制器的框图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作更进一步的说明。

如图1所示为一种氢氟酸灌装系统,其特征在于:包括原料罐1、料槽2、灌装机头4、传送带装置5、灌装瓶6、瓶盖机械手、放瓶机械手、取瓶机械手、位置感应器和控制器,所述原料罐1的出料口与料槽2的进料口之间通过硬质管路连通,在硬质管路上设置有流量泵3;所述料槽2的出料口与灌装机头4之间通过软质管路连通,在料槽2内设置有液位开关;如图2所示,所述控制器包括流量泵控制模块、传送带控制模块、灌装机头上下运动控制模块、灌装机头送料开关控制模块、瓶盖机械手上下运动控制模块、瓶盖机械手旋转推进模块、瓶盖机械手取料模块、放瓶机械手控制模块和取瓶机械手控制模块;

所述液位开关对料槽内氢氟酸的液面高度进行检测并将检测结果发送给流量泵控制模块,若液面高度低于最低位置则通过流量泵控制模块驱动流量泵3向料槽2输送氢氟酸,若液面高度高于最高位置则通过流量泵控制模块停止流量泵3向料槽2输送氢氟酸。

所述位置感应器用于感应灌装瓶6是否到达灌装位置或上瓶盖位置,并将感应结果传送给传送带控制模块;

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