[发明专利]一种基于注入距离的电流源模型的建立方法

权利要求书

1.一种基于注入距离的电流源模型的建立方法，具体步骤如下：

S1.根据注入离子的种类，确定注入离子的线性传输能量；

S2.设定需要评估的注入距离；

S3.根据步骤S1得到的注入离子的线性传输能量和S2中设定的注入距离，得到注入电流表示式。

2.根据权利要求1所述的电流源模型的建立方法，其特征在于，步骤S3所述的注入电流表示式具体为：

Ip(t)=2ζQLddepDn,pπ(4Dat)3/2{(ds)exp[-(ds)2(4Dat)]+(ds+zs)exp[-(ds+zs)2(4Dat)]},]]>其中，Q_L=10(LET)，LET为步骤S1得到的线性传输能量，ζ为器件收集电荷的双极性放大系数，d_s为步骤S2设定的注入距离，d_dep为收集电荷的深度，z_s为调整参数，D_n,p为载流子的扩散率，D_n表示电子的扩散率，D_p表示空穴的扩散率，t为时间变量。