[发明专利]一种自测量压电叠堆泵

权利要求书

1.一种自测量压电叠堆泵，其特征在于：阀盖通过螺钉安装在泵盖上，所述泵盖通过螺钉安装在泵体上；在所述阀盖和泵盖之间粘接有悬臂梁型出口阀和进口阀，所述出口阀及进口阀均由压电薄膜和基板粘接而成；在所述泵盖和泵体之间压接有泵腔隔膜，在所述泵腔隔膜的两侧通过螺钉分别安装有活塞和顶块；活塞以及安装于所述活塞上的密封圈、泵盖、出口阀及进口阀共同构成泵腔；安装在泵体端部的螺栓通过防扭挡块将压电叠堆驱动器压接在所述顶块上；所述压电叠堆驱动器、出口阀及进口阀分别通过导线组一、导线组二及导线组三与电控单元相连。

2.根据权利要求1所述一种自测量压电叠堆泵，其特征还在于：可采用出口阀或进口阀的输出电压表征压电泵输出压力和流量，即有：

P=[a4(1-b)2-2a(2a2-3a+2)(1-b)+1]3a(1-a)bg31hL2lpVg;]]>

Q=4(1-a+ab)L23a(1-a)bg31Eph2lqfVg;]]>

其中：a＝1-h_p/h，b＝E_m/E_p，h、L分别为压电悬臂梁的总厚度和长度，h_p为压电晶片厚度，g₃₁是压电电压常数，E_p和E_m分别是压电材料和金属基板的杨氏模量，l_p和l_q分别为压力和流量的标定系数，f为驱动电压频率，V_g为出口阀或进口阀的输出电压。