[发明专利]一种铌合金靶材及其制备方法

权利要求书

1.一种铌合金靶材的制备方法，包括以下步骤：

a）将铌合金管坯进行预热，在预热后的铌合金管坯表面涂抹玻璃粉；

b）将步骤a）得到的铌合金管坯进行热挤压，将热挤压后的铌合金管坯进行酸洗，将酸洗后的铌合金管坯进行热处理；

c）采用第一刀具对步骤b）得到的铌合金管坯的内孔进行镗铣，得到铌合金靶材；所述第一刀具的刀头为双刀头或单刀头，所述第一刀具的刀杆的长度大于5000mm，所述双刀头在所述刀杆工作端沿轴线方向依次设置，所述刀头的刃倾角为负值。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述铌合金管坯的制备过程具体为：

a1）将铌合金铸锭进行预热，在预热后的铌合金铸锭表面涂抹玻璃粉；

a2）将步骤a1）得到的铌合金铸锭进行第一次热锻造，将第一次热锻造后的铌合金铸锭进行酸洗，将酸洗后的铌合金铸锭进行热处理；

a3）将步骤a2）得到的铌合金铸锭进行钻孔及车削外表面，得到铌合金管坯。

3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，步骤a2）中所述热处理之后还包括：

将热处理后的铌合金铸锭进行第二次热锻造，将第二次热锻造后的铌合金铸锭再次热处理。

4.根据权利要求1，2或3所述的制备方法，其特征在于，步骤a）中在预热后的铌合金管坯表面涂抹玻璃粉之后还包括：

将涂抹玻璃粉的铌合金管坯进行再次预热，在预热后的铌合金管坯的表面再次涂抹玻璃粉。

5.根据权利要求1或4所述的制备方法，其特征在于，所述铌合金管坯进行镗铣之后还包括：

c1）将镗铣后的铌合金管坯的外圆进行车削，所述车削的第二刀具的前角为30°~40°，后角为40°~60°；主偏角为50°~60°，副偏角为10°~15°；刃倾角为10°~15°；刀尖圆弧半径为0.3~0.4mm。

6.根据权利要求1或5所述的制备方法，其特征在于，所述铌合金靶材为铌锆靶材、铌钛靶材、铌钼靶材、铌铝靶材、铌钨靶材或铌钽靶材。

7.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，所述铌锆靶材中铌的含量为10wt%~60wt%，余量为锆；所述铌钛靶材中铌的含量为50wt%~90wt%，余量为钛；所述铌钼靶材中铌的含量为30wt%~80wt%，余量为钼。

8.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述第一刀具为钨钴类硬质合金刀具。

9.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤c）中所述刀杆的长度为5500mm~6500mm。

10.权利要求1~9任一项所制备的铌合金靶材，所述铌合金靶材的晶粒度为5级~6.5级。