[发明专利]光波导透镜及其制造方法在审
| 申请号： | 201210547440.X | 申请日： | 2012-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN103869413A | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 黄新舜 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/124 | 分类号： | G02B6/124;G02B6/136 |
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| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 波导 透镜 及其 制造 方法 | ||
技术领域
本发明涉及一种光波导透镜及其制造方法。
背景技术
集成光学中普遍采用方向性较佳的激光作为光源，然而激光发出的光束仍具有一定的发散角，如果直接让光源与光学元件对接，光束中的发散光线将无法进入光学元件，光利用率低。为了增加光利用率，一般会在原有的光学元件的基础上镀一层高折射率薄膜，但是选择能够跟原有的光学元件相匹配并且成本低的薄膜相当困难。
发明内容
有鉴于此，有必要提供一种能够提高光利用率且制程简单，制造成本低的光波导透镜及其制造方法。
一种光波导透镜，其包括一个基底、一个形成于该基底上的平板光波导及一个形成于该平板光波导上的介质光栅。该平板光波导用于与一个激光光源对接以接收该激光光源发出的激光束，该介质光栅沿平行于该激光束的入射方向设置，并与该平板光波导构成一个衍射型光波导透镜以会聚该激光束。
一种制造上述光波导透镜的制造方法，其包括以下步骤：
提供基底；
在该基底上形成平板光波导；
在该平板光波导上镀上一个遮挡层；
将设置有该遮挡层的基底浸入第一种蚀刻液中进行湿式蚀刻形成介质光栅；及
去掉该遮挡层形成光波导透镜。
本发明的光波导透镜及其制造方法，该平板光波导加载该介质光栅的部分的等效折射率变大，提高了光利用率，而且不需要再采用高折射率薄膜，避免了选择低成本高折射率薄膜来与基板匹配的问题，另外采用通过在基底上设置遮挡层，再进行湿蚀刻，整个制程简单，制造成本低。
附图说明
图1为本发明提供的光波导透镜的结构示意图。
图2为图1的光波导透镜沿线II-II的剖面示意图。
图3为图1中的介质光栅的平面示意图。
图4为本发明提供的光波导透镜的制造方法的制程示意图。
图5为本发明提供的光波导透镜的制造方法的流程图。
主要元件符号说明
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