[发明专利]一种透明光学元件的快速激光预处理方法及装置

权利要求书

1.一种透明光学元件的快速激光预处理方法，其特征在于：包括以下步骤：

（1）、首先相对透明光学元件的表面设置一组前反射装置，相对透明光学元件的背面设置一组后反射装置；

（2）、将预处理激光光束入射到透明光学元件表面的处理点1进行辐照预处理，预处理激光光束穿透待处理样品后从待处理样品背面的处理点1’出射，出射后的激光光束经后反射装置反射后再次照射到被处理样品背面上的处理点2’,并穿透待处理样品后从待处理样品表面的处理点2出射，出射后的激光光束经前反射装置反射后再次照射到被处理样品表面上的处理点3；如此类推，预处理激光光束经前反射装置和后反射装置的相互反射作用，多次经过透明光学元件，对透明光学元件表面的N个处理点、背面的N个处理点和透明光学元件内部相应的两个处理点之间预处理光束经过的区域均进行了辐照预处理，其中，N≥1。

2.一种透明光学元件的快速激光预处理装置，包括有相对透明光学元件表面设置的激光光源，其特征在于：还包括有相对透明光学元件表面设置的一组前反射装置和相对透明光学元件背面设置的一组后反射装置。

3.根据权利要求2所述的一种透明光学元件的快速激光预处理装置，其特征在于：所述的一组前反射装置是由多个前反射子装置组成，每个前反射子装置是由一个或多个反射镜或反射棱镜组成；所述的一组后反射装置是由多个后反射子装置组成，每个后反射子装置是由一个或多个反射镜或反射棱镜组成。

4.根据权利要求2所述的一种透明光学元件的快速激光预处理装置，其特征在于：所述的透明光学元件的快速激光预处理装置还包括有依次设置于激光光源的后端和透明光学元件表面之间的激光能量调整控制装置、激光光束整形处理装置和光学分光楔板，光学分光楔板的第一反射输出端后设置有CCD成像系统，其第二反射输出端后设置有分光装置，分光装置的两分光输出端后分别设置有光电探测器和激光能量测量系统。

5.根据权利要求2所述的一种透明光学元件的快速激光预处理装置，其特征在于：所述的透明光学元件的快速激光预处理装置还包括有相对透明光学元件表面或背面设置的激光光束吸收装置。