[发明专利]一种用于极紫外光源的高熔点材料液滴靶产生装置

权利要求书

1.一种用于极紫外光源的高熔点材料液滴靶产生装置，其特征在于，包括激光、透镜、颗粒进料装置、喷嘴和管道，

所述激光与所述喷嘴同轴，并通过所述透镜聚焦进入所述喷嘴，用于加热进入所述喷嘴的靶材固体颗粒；

所述颗粒进料装置通过所述管道与所述喷嘴连接，用于将靶材固体颗粒连续匀速投送至所述喷嘴；当所述靶材固体颗粒进入所述喷嘴后，所述激光对所述靶材固体颗粒进行加热并使其熔化成液体，所述液体通过喷嘴喷出并形成均匀液滴靶。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述喷嘴为管状喷嘴。

3.如权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述喷嘴包括进料口，进光口和出料口；

所述进料口用于与所述管道连接；所述进光口采用激光高透过率镜片密封，用于透射激光；所述出料口为尖细的喷孔，所述液体通过所述喷孔喷出。

4.如权利要求3所述的装置，其特征在于，所述喷孔的孔径大小为10-100um。

5.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述颗粒进料装置包括：传送带、均匀排布于传送带上的靶材固体颗粒、转盘以及均匀排布于转盘上的齿轮；

传送带带动靶材固体颗粒匀速运动；转盘带动齿轮匀速转动；当靶材固体颗粒运动至管道的管口处时，齿轮运动至管口处并将所述靶材固体颗粒推入管道。

6.如权利要求5所述的装置，其特征在于，所述转盘转动的速度N、转盘上的齿轮数X、靶材固体颗粒间隔D和传送带的运动速度V之间满足关系k为正整数。

7.如权利要求6所述的装置，其特征在于，通过调节转盘转动的速度来改变靶材固体颗粒的输送频率。

8.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述颗粒进料装置包括：储存室、靶材固体颗粒和开关；

所述储存室通过管道与喷嘴连接，开关位于所述管道上，所述靶材固体颗粒由储存室流入管道并均匀排列在管道内，所述开关周期性工作使得所述靶材固体颗粒连续匀速投送至所述喷嘴中。

9.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置放置于真空环境中；所述喷嘴、管道和所述颗粒进料装置中持续补充恒定气压的氮气或氢气。

10.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述靶材固体颗粒材料为Tb或Gd。