[发明专利]一种L形波片及其制备方法

权利要求书

1.一种L形波片，其特征是由L形和旋转180度的L形金属膜构成正方形包络的结构周期排列形成，每个L形金属膜边长900±40nm，线宽140±20nm，厚度150±20nm，正方形包络长度1200±40nm，重复周期1350±40nm。

2.根据权利要求1所述的L形波片，其特征是L形和旋转180度的L形金属膜最小处的间隙在10nm-100nm。

3.根据权利要求1所述的L形波片，其特征是L形金属膜结构是利用电子束曝光技术在石英玻璃表面制作的金属膜结构。

4.根据权利要求2所述的L形波片，其特征是金属膜是金膜。

5.根据权利要求1-4所述的L形波片，其特征是每个L形边长900nm，线宽140nm，厚度150nm，正方形包络长度1200nm，重复周期1350nm。

6.L形波片制备方法，其特征是首先在石英玻璃表面利用磁控溅射的方法制备氧化铟锡（ITO）；然后利用自旋甩胶在玻璃表面形成电子束胶膜；利用电子束曝光技术在电子束胶上制备L形结构的反结构；再利用电子束蒸发技术在电子束胶表面蒸镀150nm金属膜；最后利用除胶剂除去未曝光部分的电子束胶，就形成了L形波片。

7.根据权利要求6所述的L形波片制备方法，其特征是首先在石英玻璃表面利用磁控溅射的方法制备15nm氧化铟锡（ITO）作为粘附层；然后利用自旋甩胶的方法在玻璃表面形成300nm厚的电子束胶（PMMA 950K A4）薄膜；利用电子束曝光技术在电子束胶上制备L形结构的反结构；再利用电子束蒸发技术在电子束胶表面蒸镀150nm金膜；最后利用除胶剂（Remover PG）除去未曝光部分的电子束胶，就形成金膜L形波片。