[发明专利]大功率硅瞬态电压抑制二极管的制作方法及结构在审
申请号: | 201210544943.1 | 申请日: | 2012-12-17 |
公开(公告)号: | CN103871874A | 公开(公告)日: | 2014-06-18 |
发明(设计)人: | 吴贵松;程勇;杨秀斌;杨辉 | 申请(专利权)人: | 中国振华集团永光电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/329 | 分类号: | H01L21/329;H01L25/07;H01L29/861 |
代理公司: | 贵阳中新专利商标事务所 52100 | 代理人: | 刘楠 |
地址: | 550018 贵州省*** | 国省代码: | 贵州;52 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 大功率 瞬态 电压 抑制 二极管 制作方法 结构 | ||
1. 一种大功率硅瞬态电压抑制二极管的制作方法,其特征在于:該方法通过一组芯片串联叠加形成芯片组,以提高硅瞬态电压抑制二极管的瞬态脉冲峰值功率。
2.根据权利要求1所述制作方法,其特征在于:所述芯片采用热膨胀系数约等于6.95×10-6/℃的硅片制成;硅片两面进行多元金属化处理,在芯片表面形成钛—镍—金或钛—镍—银层,以解决焊接可靠性问题。
3.根据权利要求1所述制作方法,其特征在于:所述芯片为正六边形。
4.根据权利要求1所述制作方法,其特征在于:所述芯片组的两端以及芯片与芯片之间通过焊片焊接,焊片与芯片材料的热膨胀系数之差小于0.7×10-6/℃,以解决芯片与焊片之间的热匹配问题。
5.根据权利要求4所述制作方法,其特征在于:所述焊片采用热膨胀系数约等于7.6×10-6/℃,热导率约等于190W/m.K,厚度为0.5mm的钼铜片,钼铜片为外切于芯片的圆形。
6.根据权利要求1所述制作方法,其特征在于:所述芯片组包括两个芯片,以承受20KW~30KW瞬态脉冲峰值功率。
7.根据权利要求1所述制作方法,其特征在于:所述芯片组包括三个芯片,以承受35KW~40KW瞬态脉冲峰值功率。
8.根据权利要求1所述制作方法,其特征在于:所述芯片组包括四个芯片,以承受45KW~50KW瞬态脉冲峰值功率。
9.一种根据权利要求1-8任一权利要求所述制作方法构成的大功率硅瞬态电压抑制二极管,其特征在于:包括与负极(1)连接的基座(2),基座(2)上设有一组间隔设置的钼铜片(3)和芯片(4);顶部钼铜片经触丝(5)与正极(6)连接;基座(2)上设有管壳(7),管壳(7)顶部设有绝缘密封(8)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造