[发明专利]大功率硅瞬态电压抑制二极管的制作方法及结构在审

专利信息
申请号: 201210544943.1 申请日: 2012-12-17
公开(公告)号: CN103871874A 公开(公告)日: 2014-06-18
发明(设计)人: 吴贵松;程勇;杨秀斌;杨辉 申请(专利权)人: 中国振华集团永光电子有限公司
主分类号: H01L21/329 分类号: H01L21/329;H01L25/07;H01L29/861
代理公司: 贵阳中新专利商标事务所 52100 代理人: 刘楠
地址: 550018 贵州省*** 国省代码: 贵州;52
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摘要:
搜索关键词: 大功率 瞬态 电压 抑制 二极管 制作方法 结构
【权利要求书】:

1. 一种大功率硅瞬态电压抑制二极管的制作方法,其特征在于:該方法通过一组芯片串联叠加形成芯片组,以提高硅瞬态电压抑制二极管的瞬态脉冲峰值功率。

2.根据权利要求1所述制作方法,其特征在于:所述芯片采用热膨胀系数约等于6.95×10-6/℃的硅片制成;硅片两面进行多元金属化处理,在芯片表面形成钛—镍—金或钛—镍—银层,以解决焊接可靠性问题。

3.根据权利要求1所述制作方法,其特征在于:所述芯片为正六边形。

4.根据权利要求1所述制作方法,其特征在于:所述芯片组的两端以及芯片与芯片之间通过焊片焊接,焊片与芯片材料的热膨胀系数之差小于0.7×10-6/℃,以解决芯片与焊片之间的热匹配问题。

5.根据权利要求4所述制作方法,其特征在于:所述焊片采用热膨胀系数约等于7.6×10-6/℃,热导率约等于190W/m.K,厚度为0.5mm的钼铜片,钼铜片为外切于芯片的圆形。

6.根据权利要求1所述制作方法,其特征在于:所述芯片组包括两个芯片,以承受20KW~30KW瞬态脉冲峰值功率。

7.根据权利要求1所述制作方法,其特征在于:所述芯片组包括三个芯片,以承受35KW~40KW瞬态脉冲峰值功率。

8.根据权利要求1所述制作方法,其特征在于:所述芯片组包括四个芯片,以承受45KW~50KW瞬态脉冲峰值功率。

9.一种根据权利要求1-8任一权利要求所述制作方法构成的大功率硅瞬态电压抑制二极管,其特征在于:包括与负极(1)连接的基座(2),基座(2)上设有一组间隔设置的钼铜片(3)和芯片(4);顶部钼铜片经触丝(5)与正极(6)连接;基座(2)上设有管壳(7),管壳(7)顶部设有绝缘密封(8)。

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