[发明专利]径向偏光照明椭球曲面光瞳振幅滤波共焦成像装置

权利要求书

1.径向偏光照明椭球曲面光瞳振幅滤波共焦成像装置，包括激光器（1），准直扩束器（2），起偏器（3），径向偏振光转换器（4），分光镜（5），大数值孔径物镜（6），椭球反射镜（7），样品（8），三维载物台（9），耦合透镜（10），光纤（11），光电倍增管（12）；激光器（1）发出的激光束依次经过准直扩束器（2），起偏器（3），径向偏振光转换器（4），分光镜（5）后，由大数值孔径物镜（6）会聚到椭球反射镜（7）表面，再经过椭球反射镜（7）和样品（8）的两次反射后沿对称路径返回，再次经过分光镜（5）时被反射，反射光束先经耦合透镜（10）会聚，再经光纤（11）传输到光电倍增管（12）上成像；其中，样品（8）固定放置在三维载物台（9）上；大数值孔径物镜（6）的焦点和椭球反射镜（7）的远焦点F₁重合，椭球反射镜（7）的近焦点F₂位于样品（8）的表面上；其特征在于所述的椭球反射镜（7）为环带结构，相隔的两个环带反射率相同，相邻的两个环带反射率分别为0和1。

2.根据权利要求书1所述的径向偏光照明椭球曲面光瞳振幅滤波共焦成像装置，其特征在于所述的椭球反射镜（7）的边缘环带反射率为1；顶点环带反射率为0。

3.根据权利要求书1所述的径向偏光照明椭球曲面光瞳振幅滤波共焦成像装置，其特征在于所述的椭球反射镜（7）为四环带结构。

4.根据权利要求书3所述的径向偏光照明椭球曲面光瞳振幅滤波共焦成像装置，其特征在于从椭球反射镜（7）边缘到顶点，环带的反射率依次为1、0、1、0。

5.根据权利要求书4所述的径向偏光照明椭球曲面光瞳振幅滤波共焦成像装置，其特征在于从椭球反射镜（7）边缘到顶点，第一环带对椭球反射镜（7）近焦点F₂的张角范围为                                                ；第三环带对椭球反射镜（7）近焦点F₂的张角范围为。