[发明专利]一种极紫外光刻照明系统中中继镜组的设计方法

权利要求书

1.一种极紫外光刻照明系统中中继镜组的设计方法，该光刻照明系统沿光路方向依次包括光源、聚光镜、双排复眼以及中继镜组构成；其特征在于，该方法的具体步骤为：

步骤101、根据与所述光刻照明系统匹配的投影物镜系统的相关参数，获取照明系统的出瞳直径和出瞳距离，同时获取掩模面弧形区域的尺寸；

步骤102、设定一虚拟面，且虚拟面与光刻照明系统的出瞳面关于掩模面对称；

步骤103、设置一孔径光阑，所述孔径光阑位置与掩模面弧形区域的位置重合，且该孔径光阑的尺寸与掩模面弧形区域的尺寸相同；

步骤104、定义逆向光线追迹过程中遇到的第一片中继镜为第一中继镜，遇到的第二片中继镜为第二中继镜，确定两片中继镜的相对位置关系，即：令第一中继镜的非临近焦点与所述虚拟面的中心重合，且使所述虚拟面经过第一中继镜反射后成像在它的临近焦点上；令孔径光阑经过第一中继镜反射后成像在第二中继镜的临近焦点上，再经过第二中继镜反射后成像在它的非临近焦点上；

步骤105、利用光线追踪原理，基于所述出瞳直径、出瞳距离及两中继镜的相对位置关系，计算出两中继镜的面型参数和位置坐标。

2.根据权利要求1所述极紫外光刻照明系统中中继镜组的设计方法，其特征在于，所述步骤105的具体过程为：

步骤201、将所述虚拟面当作物面，取中心物点进行光线追迹，通过该虚拟面与第一中继镜间的光线长度以及反射角，利用平面几何的方法，计算出第一中继镜的面型参数；

步骤202、根据照明系统的出瞳距离和出瞳直径，利用平面几何的方法计算出所述第一中继镜的位置坐标；

步骤203、取虚拟面中心物点进行光线追迹，通过两中继镜组间的光线长度以及第二中继镜的反射角度，利用平面几何的方法计算出第二中继镜的面型参数；

步骤204、利用平面几何的方法计算第二中继镜的位置坐标；

步骤205、微调第二中继镜的位置和倾斜角度，保证照明系统中的后续元件不会发生光路遮挡。