[发明专利]真空紫外波段成像系统的平场定标装置及平场定标方法

权利要求书

1.真空紫外波段成像系统的平场定标装置，该装置包括真空罐（7）、真空紫外单色仪（2）、四维运动平台（9）、准直反射镜（8）和待定标成像系统（12），所述真空紫外单色仪（2）包括入射狭缝（3）、光栅室（4）、出射狭缝（5）和针孔（6）；其特征是，所述四维运动平台（9）、准直反射镜（8）和待定标成像系统（12）设置在真空罐（7）内，所述待定标成像系统（12）固定在四维运动平台（9）上，真空紫外空心阴极光源（1）光束经真空紫外单色仪（2）的入射狭缝（3）进入光栅室（4）分光，出射狭缝（5）处设置针孔（6），分光后的光束依次经出射狭缝（5）和针孔（6）后经准直反射镜（8）变为平行光束；所述平行光束在待定标成像系统（12）上成像。

2.根据权利要求1所述的真空紫外波段成像系统的平场定标装置，其特征在于，还包括工控机（13），所述四维运动平台（9）在方位和俯仰方向由工控机（13）进行驱动。

3.根据权利要求1所述的真空紫外波段成像系统的平场定标装置，其特征在于，所述待定标成像系统（12）的入瞳中心与四维运动平台（9）的方位转动轴（10）和俯仰转动轴（11）的转动中心重合。

4.基于权利要求1所述的真空紫外波段成像系统的平场定标装置的定标方法，其特征是，该方法由以下步骤实现：

步骤一、调整真空紫外单色仪（2）扫描波长至成像系统的工作波段；真空紫外空心阴极光源（1）的光束由入射狭缝（3）进入光栅室（4）分光后，经出射狭缝（5）出射单色光；单色光依次经针孔（6）和准直反射镜（8）后变为平行的准直光束；

步骤二、调整四维运动平台（9），使待定标成像系统（12）的入瞳中心与准直反射镜（8）出射的准直光束的中心重合；

步骤三、确定待定标成像系统（12）对像面响应相对值的采样密度及视场扫描的角度步长，调整四维运动平台（9）的方位转动轴（10）和俯仰转动轴（11），使针孔成像在待定标成像系统（12）像面的不同位置；获得多幅小孔图像；

步骤四、提取每幅小孔图像中针孔像的位置及灰度，生成针孔像的合成图像，计算合成图像中像面上不同位置的像元灰度相对于像面中心的像元灰度的响应相对值；然后通过插值方式获得像面上未采样位置的像元灰度相对于像面中心的像元灰度的响应相对值，最终获得整个像面的响应相对值图像矩阵，实现真空紫外波段成像系统的平场定标。

5.根据权利要求4所述的真空紫外波段成像系统的平场定标方法，其特征在于，所述真空紫外空心阴极光源（1）采用稀有氦气、氩气或氖气作为放电的气体光源。

6.根据权利要求4所述的真空紫外波段成像系统的平场定标方法，其特征在于，所述待定标成像系统（12）安装在四维运动平台（9）上，且待定标成像系统（12）的入瞳中心与四维运动平台（9）的方位转动轴（10）和俯仰转动轴（11）的转动中心重合。

7.根据权利要求4所述的真空紫外波段成像系统的平场定标方法，其特征在于，所述四维运动平台（9）在方位和俯仰方向由工控机（13）进行驱动。