[发明专利]一种具有防撞功能的硅片台无效
| 申请号： | 201210533774.1 | 申请日： | 2012-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN103019045A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 朱煜;张鸣;刘召;杨开明;徐登峰;田丽;张利;秦慧超;王平安;尹文生;胡金春;穆海华 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;F16F15/027;F16F15/08;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 邸更岩 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 具有 功能 硅片 | ||
【权利要求书】：
1.一种具有防撞功能的硅片台，该硅片台含有硅片台台体（1）和线缆台（2），所述的线缆台安装在硅片台的一个侧面，其特征在于：所述硅片台还含有三个气囊（3）、四个阻尼缓冲元件（4）和气源（6），所述的三个气囊串联布置，并分别通过气囊支架（5）固定在硅片台的另外三个侧面上；相邻两个气囊之间通过一个阻尼缓冲元件（4）和气体管路相连通，所述的气体管路与气源（6）相连通，气体管路固定在线缆台上。
2.按照权利要求1所述的一种具有防撞功能的硅片台，其特征在于：所述的阻尼缓冲元件上至少有一个细长阻尼孔。
3.按照权利要求1或2所述的一种具有防撞功能的硅片台，其特征在于：所述的气囊采用橡胶材质制成。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于清华大学，未经清华大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201210533774.1/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种用于海绵钛的破碎机
- 下一篇：茶功能饮料的制备方法
