[发明专利]同轴检测光正入射获得干涉图像的装置

权利要求书

1.一种同轴检测光正入射获得干涉图像的装置，包括检测光光源（6）和干涉条纹图像接收装置，其特征在于，前圆周透镜（7）与后圆锥透镜（8）二者同轴且圆锥顶角相对，前圆锥透镜（7）的底面朝向检测光光源（6），前圆锥透镜（7）及后圆锥透镜（8）均沿圆锥轴线开通孔，检测光入射轴线与该通孔轴线同轴；光阑（9）位于在后圆锥透镜（8）底面上，光阑（9）的通光孔轴线与所述通孔轴线同轴；在后圆锥透镜（8）底面一侧的光路上与检测光入射轴线成45°角安置前平面镜（10），后平面镜（11）与前平面镜（10）平行，过二者几何中心的轴线与检测光入射轴线垂直；前平面镜内镜面a及后平面镜内镜面c膜系对检测光具有高反射率、对于泵浦光和振荡激光具有高透射率，前平面镜外镜面b及后平面镜外镜面d膜系对于泵浦光和振荡激光具有高透射率；检测光出射轴线与检测光入射轴线平行且过后平面镜（11）几何中心；正透镜（12）位于检测光出射光路上，正透镜（12）光轴与检测光出射轴线同轴；干涉条纹图像接收装置为CCD摄像机（13），CCD摄像机（13）感光面位于正透镜（12）成像焦平面上。

2.根据权利要求1所述的同轴检测光正入射获得干涉图像的装置，其特征在于，检测光光源（6）包括He-Ne激光器（19）和准直透镜（20），检测光波长为632.8 nm。

3.根据权利要求1所述的同轴检测光正入射获得干涉图像的装置，其特征在于，前圆周透镜（7）与后圆锥透镜（8）是两个相同的圆锥透镜，该两个圆锥透镜底面相距距离D；透镜材料为K9玻璃，n=1.5168；圆锥透镜高度D₀=5 mm，锥面母线与圆锥底面的夹角γ=10°；前圆锥透镜（7）及后圆锥透镜（8）的通孔直径d₀=3 mm。

4.根据权利要求1所述的同轴检测光正入射获得干涉图像的装置，其特征在于，光阑（9）孔径范围为0 mm<d<10mm。

5.根据权利要求1所述的同轴检测光正入射获得干涉图像的装置，其特征在于，后圆锥透镜（8）底面与前平面镜（10）几何中心的距离为50 mm；后平面镜（11）几何中心与正透镜（12）几何中心间的距离为80 mm。

6.根据权利要求1所述的同轴检测光正入射获得干涉图像的装置，其特征在于，前平面镜内镜面a、前平面镜外镜面b、后平面镜内镜面c、后平面镜外镜面d膜系同时对泵浦光808 nm波长和振荡激光1064 nm波长的透射率大于等于99 %；并且，前平面镜内镜面a、后平面镜内镜面c膜系还对检测光632.8 nm波长的反射率大于99 %。

7.根据权利要求1所述的同轴检测光正入射获得干涉图像的装置，其特征在于，正透镜（12）的两个通光面为凸球面，并且，膜系对检测光632.8 nm波长的透射率大于等于99 %，焦距f=50 mm。

8.根据权利要求1所述的同轴检测光正入射获得干涉图像的装置，其特征在于，CCD摄像机（13）感光面尺寸为6.4 mm×4.8 mm，像素数为811(H)×508(V)。