[发明专利]油溶性缓蚀剂的制备方法

权利要求书

1.一种油溶性缓蚀剂的制备方法，其特征在于包括下述步骤：

(1)成膜剂A剂的制备：将异辛醇加入反应釜，搅拌均匀，然后升温至50℃，缓慢地加入五氧化二磷，搅拌30min，升温至110℃，保温5h降温至50℃以下，放料备用；

(2)成膜剂B剂的制备：将蓖麻油酸与四乙烯五胺投入反应釜，升温至240℃-250℃，反应6-8h，降温放料备用；

(3)复配：将溶剂油、成膜剂A剂、成膜剂B剂、N,N-二甲基甲酰胺、烷基苯磺酸、二甘醇依次投入反应釜，搅拌均匀升温至110℃，反应3-6h，然后降温至50℃以下缓慢加环已胺，继续搅拌30min放料，打入储槽，静止一周，即得到油溶性缓蚀剂。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于所述步骤(1)中异辛醇与五氧化二磷的质量比为3.8-4.2:1。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于所述步骤(2)中蓖麻油酸与四乙烯五胺的质量比为1.2-1.8:1。

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于所述步骤(3)中各组分的质量百分比为：溶剂油52-57%、成膜剂A剂18-22%、成膜剂B剂6.5-9%、N,N-二甲基甲酰胺3.5-6%、烷基苯磺酸4-6%、二甘醇0.5-3%、环已胺4-6%。

5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于所述步骤(3)中各组分的质量百分比为：溶剂油55%、成膜剂A剂20%、成膜剂B剂8%、N,N-二甲基甲酰胺5%、烷基苯磺酸5%、二甘醇2%、环已胺5%。

6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于所述溶剂油为苯、甲苯、二甲苯中的一种。