[发明专利]具有低膨胀系数差异的微机电装置有效
| 申请号： | 201210530237.1 | 申请日： | 2012-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN103869099A | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 蔡明翰;刘育嘉;方维伦 | 申请（专利权）人： | 原相科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;G01P15/18;B81B3/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 陈肖梅;谢丽娜 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 膨胀系数 差异 微机 装置 | ||
1.一种具有低膨胀系数差异的微机电装置，采用互补式金氧半导体制程所制作，其特征在于，该微机电装置包含：
一固定单元，包括一第一电容感应区和一固定结构区；
一活动单元，包括一第二电容感应区和一质量块区，其中该第一电容感应区可和第二电容感应区构成电容，且该质量块区为单一材料结构；以及
一连接结构，用以连接固定该活动单元，此连接结构容许该活动单元可相对于该固定单元而移动。
2.如权利要求1所述的具有低膨胀系数差异的微机电装置，其中，该质量块区具有多个通孔。
3.如权利要求1所述的具有低膨胀系数差异的微机电装置，其中，该质量块区的单一材料为绝缘材料。
4.如权利要求3所述的具有低膨胀系数差异的微机电装置，其中，该单一材料包含二氧化硅。
5.如权利要求1所述的具有低膨胀系数差异的微机电装置，其中，该固定结构区为单一材料结构。
6.如权利要求1所述的具有低膨胀系数差异的微机电装置，其中，从俯视图视之，该固定单元的面积中超过50%，自顶表面至底表面间为单一材料结构。
7.一种具有低膨胀系数差异的微机电装置，采用互补式金氧半导体制程所制作，其特征在于，该微机电装置包含：
一固定单元，包括一第一电容感应区和一固定结构区；
一活动单元，包括一第二电容感应区，其中该第一电容感应区可和第二电容感应区构成电容，且从俯视图视之，该活动单元的面积中超过50%，自顶表面至底表面间为单一材料结构；以及
一连接结构，用以连接固定该活动单元，此连接结构容许该活动单元可相对于该固定单元而移动。
8.如权利要求6所述的具有低膨胀系数差异的微机电装置，其中，该活动单元具有多个通孔，且该活动单元的面积计算包含该通孔面积。
9.如权利要求6所述的具有低膨胀系数差异的微机电装置，其中，该单一材料为绝缘材料。
10.如权利要求8所述的具有低膨胀系数差异的微机电装置，其中，该单一材料包含二氧化硅。
11.如权利要求6所述的具有低膨胀系数差异的微机电装置，其中，该固定结构区为单一材料结构。
12.如权利要求11所述的具有低膨胀系数差异的微机电装置，其中，从俯视图视之，该固定单元的面积中超过50%，自顶表面至底表面间为单一材料结构。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于原相科技股份有限公司，未经原相科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201210530237.1/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：马桶座的盖子
- 下一篇：一种多用途简易碗碟架
