[发明专利]一种金属化学机械抛光浆料及其应用

权利要求书

1.一种金属化学机械抛光浆料，包括研磨颗粒、络合剂、腐蚀抑制剂、氧化剂，其特征在于，还至少含有一种磷酸酯类表面活性剂。

2.如权利要求1所述的金属化学机械抛光浆料，其特征在于，所述的磷酸酯类表面活性剂至少含有如下结构式的一种或多种：

和/或其中：X=RO,RO-(CH₂CH₂O)_n,RCOO-(CH₂CH₂O)_n;R为C8~C22的烷基或烷基苯、甘油基（C₃H₅O₃-），n=2~30,M=H,K,NH₄，(CH₂CH₂O)_1~3NH_3~1和/或Na。

3.如权利要求1所述的金属化学机械抛光浆料，其特征在于，所述的磷酸酯类表面活性剂至少含有如下结构式的两种或多种：

和/或其中：X=RO,RO-(CH₂CH₂O)_n,RCOO-(CH₂CH₂O)_n;R为C8~C22的烷基或烷基苯、甘油基（C₃H₅O₃-），n=2~30,M=H,K,NH₄，(CH₂CH₂O)_1~3NH_3~1和/或Na。

4.如权利要求1所述的金属化学机械抛光浆料，其特征在于，所述的磷酸酯类表面活性剂的含量为重量百分比0.0005~1%。

5.如权利要求4所述的金属化学机械抛光浆料，其特征在于，所述磷酸酯类表面活性剂的含量为重量百分比0.001~0.5%。

6.如权利要求1所述的金属化学机械抛光浆料，其特征在于，所述的研磨颗粒为二氧化硅、氧化铝、掺杂铝或覆盖铝的二氧化硅、二氧化铈、二氧化钛、高分子研磨颗粒中的一种或多种。

7.如权利要求1所述的金属化学机械抛光浆料，其特征在于，所述的研磨颗粒的粒径为20～200nm。

8.如权利要求1所述的金属化学机械抛光浆料，其特征在于，所述的研磨颗粒的重量百分比浓度为0.1～20％．

9.如权利要求1所述的金属化学机械抛光浆料，其特征在于，所述的络合剂为氨羧化合物及其盐、有机羧酸及其盐、有机膦酸及其盐和有机胺中的一种或多种。

10.如权利要求9所述的金属化学抛光浆液，其特征在于，所述的氨羧化合物选自甘氨酸、丙氨酸、缬氨酸、亮氨酸、脯氨酸、苯丙氨酸、酪氨酸、色氨酸、赖氨酸、精氨酸、组氨酸、丝氨酸、天冬氨酸、苏氨酸、谷氨酸、天冬酰胺、谷氨酰胺、氨三乙酸、乙二胺四乙酸、环己烷四乙酸、乙二胺二琥珀酸、二乙烯三胺五乙酸和三乙烯四胺六乙酸中的一种或多种；所述的有机羧酸为醋酸、草酸、柠檬酸、酒石酸、丙二酸、丁二酸、苹果酸、乳酸、没食子酸和磺基水杨酸中的一种或多种；所述的有机膦酸为2-膦酸丁烷-1，2，4-三羧酸、氨基三甲叉膦酸、羟基乙叉二膦酸、乙二胺四甲叉膦酸、二乙烯三胺五甲叉膦酸、2-羟基膦酸基乙酸、乙二胺四甲叉膦酸和多氨基多醚基甲叉膦酸中的一种或多种；所述的有机胺为乙二胺、二乙烯三胺、五甲基二乙烯三胺、多乙烯多胺、三乙烯四胺、四乙烯五胺；所述的盐为钾盐、钠盐和/或铵盐。

11.如权利要求1所述的金属化学机械抛光浆料，其特征在于，所述的络合剂的含量为重量百分比0.05～10％。

12.如权利要求11所述的金属化学机械抛光浆料，其特征在于，所述的络合剂的含量较佳为重量百分比0.1～5％。

13.如权利要求1所述的金属化学机械抛光浆料，其特征在于，所述的氧化剂为过氧化氢、过氧化脲、过氧甲酸、过氧乙酸、过硫酸盐、过碳酸盐、高碘酸、高氯酸、高硼酸、高锰酸钾和硝酸铁中的一种或多种。

14.如权利要求1所述的金属化学机械抛光浆料，其特征在于，所述的氧化剂的含量为重量百分比0.05～10％。