[发明专利]一种采用电镀来制备软磁材料铁镍合金阵列的方法

权利要求书

1.一种采用电镀来制备软磁材料铁镍合金阵列的方法，其特征在于按顺序包括如下步骤：

（a）基底上溅射种子层；

（b）厚胶光刻出阵列图形；

（c）配制电镀液；

（d）设置电源参数，连接电路；

（e）调整电镀时间以及均匀搅拌设备进行电镀；

（f）用丙酮去光刻胶；

（g）用冰醋酸和双氧水去种子层；

（h）在真空室内进行退火；

（i）测试铁镍合金阵列的软磁性能。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：

步骤（a）中基底为硅片，种子层为钛铜种子层，其中钛厚度150铜厚度1500

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：

步骤（b）中阵列形状的设计陈列图形和参数设计，阵列图形包括圆形阵列、正方形阵列、矩形阵列、整块方形和整块圆形，光刻深度为10-50μm；参数设计包括阵列尺寸、阵列单元之间的间距，阵列图形占整块图形的比例。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：

步骤（c）配制电镀液的成分及浓度包括：硫酸镍NiSO₄·6H₂O：187g/L、氯化镍NiCl₂·6H₂O：50g/L、硫酸亚铁FeSO₄·7H₂O:64g/L、硼酸H₃BO₃：40g/L、氯化钠NaCl:20g/L、十二烷基硫酸钠NaC₁₂H₂₅SO₄:0.2g/L、磷酸H₃PO₄:5g/L、糖精Saccharin:3.5g/L。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于：

当铁镍比例为7:93时，只需改动以下二种试剂：硫酸镍NiSO₄·6H2O：176g/L、硫酸亚铁FeSO₄·7H2O:18g/L。

6.根据权利要求4所述的方法，其特征在于：

当铁镍比例为50:50时，只需改动以下三种试剂：硫酸镍NiSO₄·6H₂O：130.9g/L、氯化镍NiCl₂·6H₂O：35g/L、硫酸亚铁FeSO₄·7H ₂O:179.2g/L。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：

步骤（d）电源参数包括：电流密度、脉冲频率、占空比、电镀时间，电源提供的是脉冲电流。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：

步骤（c）在电镀液中掺入纳米磁颗粒，以提高合金软磁性能。

9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：

步骤（h）退火温度600-700℃，通过热处理过程降低内部应力，提升合金材料的均一性。

10.一种软磁材料铁镍合金阵列，其特征在于：使用权利要求1-9之一的方法制备，其厚度为10-50μm，饱和磁感应强度为1T以上。