[发明专利]压电马达、驱动装置、电子部件输送装置及检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及压电马达、驱动装置、电子部件输送装置、电子部件检查装置、印刷装置、机械手以及机器人。

背景技术

公知有使由压电材料形成的部件（振动体）振动来驱动对象物的压电马达。该压电马达具有如下特征：与利用电磁力来使转子旋转的方式的电磁马达相比，该压电马达的体型小、且能够得到大的驱动力，进而，能够以高分辨率定位对象物。因此，例如作为照相机的驱动机构等各种装置的致动器而被使用。

压电马达以如下的原理进行动作。首先，将振动体（压电材料）形成为近似长方体形状，并在长边方向的端面设置凸部。进而，对振动体施加规定频率的电压，从而同时产生振动体伸缩的方式的振动和振动体弯曲的方式的振动。这样，振动体的端面开始进行朝一个方向旋转的椭圆运动。因此，通过将设置于端面的凸部按压于对象物，能够利用在凸部与对象物之间作用的摩擦力使对象物朝一定方向移动。

根据这样的动作原理，压电马达需要在将设置于振动体的端面的凸部按压于对象物的状态下使用。并且，需要保持振动体，以免在驱动对象物时振动体因凸部从对象物受到的反作用力而脱离。然而，必须允许振动体以凸部进行椭圆运动的方式振动。因此，提出了如下技术：将振动体以使凸部突出的状态收纳于保持壳体，在该保持壳体内，使用弹性部件从弯曲方向支承振动体的两侧，并且对振动体连同保持壳体朝对象物施力。

专利文献1：日本特开平11－346486号公报

但是，近年来，对搭载有压电马达的装置的小型化以及性能提高的要求日益增高，伴随与此，也要求压电马达实现进一步的小型化以及驱动精度的提高。

并且，存在难以高效地将振动体所产生的能量利用于对象物的驱动的问题。这是由于如下原因：由于从弯曲方向支承振动体的两侧，因此，振动体的振动易于经由保持壳体传递到外部，传递到外部的振动无法利用于驱动对象物。

发明内容

本发明是为了解决现有技术所具有的上述课题中的至少一部分而完成的，其目的在于提供能够使压电马达小型化并提高驱动精度的技术，或者提供能够高效地驱动对象物的技术。

为了解决上述课题的至少一部分，本发明的压电马达采用了如下结构。即，该压电马达的特征在于，通过使包含压电材料的振动体振动，并使突出设置于振动体的端面的凸部与对象物接触，来使对象物移动，其中，该压电马达具备：振动体壳体，该振动体壳体收纳振动体；基台，在该基台设置有滑动部，且振动体壳体安装于基台，振动体壳体在滑动部滑动；加压弹性体，该加压弹性体对从振动体壳体突出的凸部朝对象物的方向施力；以及侧压弹性体，该侧压弹性体从与振动体壳体的滑动方向交叉的方向对振动体壳体朝基台的滑动部施力，侧压弹性体的与振动体壳体接触的一侧的端面与振动体壳体嵌合。

在这种结构的压电马达中，通过在使振动体的凸部连同振动体壳体一起与对象物接触的状态下使振动体振动，能够使对象物移动。并且，由于利用侧压弹性体将振动体壳体按压于基台的滑动部，因此，在驱动对象物时，振动体不会因凸部从对象物受到的反作用力而脱离。这里，振动体壳体能够在相对于对象物接近或远离的方向上滑动。不仅如此，从与振动体壳体的滑动方向交叉的方向将振动体壳体按压于滑动部的侧压弹性体的与振动体壳体接触的一侧的端面与振动体壳体嵌合。