[发明专利]低真空状态下的冷等离子体辉光放电发生器

权利要求书

1.低真空状态下的冷等离子体辉光放电发生器，其特征在于包括等离子体处理装置，所述装置设于真空度可调的腔体内，该装置包括绝缘支架（1）、放电装置（2）、主动辊（3）、从动辊（4）、压辊（5）和传送带（6），主动辊和从动辊通过轴承分别设于绝缘支架的两端，传送带设于主动辊和从动辊之上，压辊通过轴承设于绝缘支架一端，将传送带压紧于主动辊上，放电装置设于绝缘支架上，传送带从放电装置的内部穿过; 所述放电装置（2）包括平行设置的上下两块极板（7），每块极板设有金属悬浮屏蔽外壳（8），极板与金属悬浮屏蔽外壳之间填充有绝缘材料（9），两块极板相对两面的间距为1.5~10cm，传送带从两个极板之间穿过，每个极板上设有极板接头（10），所述极板接头通过射频输出线与射频源连接。

2.根据权利要求1所述的低真空状态下的冷等离子体辉光放电发生器，其特征在于所述极板接头（10）与极板的连接处设有绝缘材料。

3.根据权利要求1所述的低真空状态下的冷等离子体辉光放电发生器，其特征在于所述射频源为双输出供电装置，所述双输出供电装置包括交流电源（12）和变压器（13），所述变压器仅原边接地，副边输出端经绝缘保护后与负载（14）连接，所述负载为放电装置（2）。

4.根据权利要求1或2所述的低真空状态下的冷等离子体辉光放电发生器，其特征在于所述绝缘材料为聚四氟乙烯、陶瓷或丙烯。

5.根据权利要求1所述的低真空状态下的冷等离子体辉光放电发生器，其特征在于所述腔体的真空度为90~180pa。

6.根据权利要求1所述的低真空状态下的冷等离子体辉光放电发生器，其特征在于所述从动辊（4）设置有张紧装置。

7.根据权利要求1所述的低真空状态下的冷等离子体辉光放电发生器，其特征在于腔体、极板、金属悬浮屏蔽外壳为不锈钢材料。

8.根据权利要求1所述的低真空状态下的冷等离子体辉光放电发生器，其特征在于所述主动辊（3）、从动辊（4）及压辊（5）的轴芯均为不锈钢材料，外敷绝缘橡胶层。

9.根据权利要求1所述的低真空状态下的冷等离子体辉光放电发生器，其特征在于所述传送带（6）为天然高分子材料，所述天然高分子材料为棉、麻、亚麻或丝类制品。

10.根据权利要求1所述的低真空状态下的冷等离子体辉光放电发生器，其特征在于所述真空度可调的腔体内为工作气体，所述气体为空气、氩气、氧气、氦气或氮气中的一种或任意几种气体的混合物。