[发明专利]一种可用于金属有机化学气相沉积设备的高功率加热器

权利要求书

1.一种可用于金属有机化学气相沉积设备的高功率加热器，包括炉体、炉体中间设有一中心孔，其特征是中心孔的周围设有第一支架，炉体的周边设有第二支架，炉体上位于第一支架和第二支架之间设有第三支架；所述第一支架的头部上设有呈上下多层排列的发热丝卡槽，第二支架的头部上边和外侧边分别设有多个发热丝卡槽，第三支架的头部设有一个发热丝卡槽，所述卡槽内设有发热丝。

2.根据权利要求1所述的可用于金属有机化学气相沉积设备的高功率加热器，其特征是所述第二支架的头部上边和外侧边分别设有3个横向排列的发热丝卡槽和2个或3个竖向排列的发热丝卡槽。