[发明专利]一种新型蓝宝石晶体生长炉复合式隔热屏系统

说明书

技术领域

本发明涉及LED蓝宝石衬底片的加工制作过程中蓝宝石晶体生长炉的必需部件，尤其是一种隔热保温系统。

背景技术

LED行业在国外已经有几十年的发展历程，在国内从2010年开始刚刚起步，而蓝宝石衬底片经过几十年的的生产实践证明，是迄今为止最为经济的一种衬底材料，为降低LED制造成本起着关键的作用。而蓝宝石晶体生长设备是必要的载体。目前国内已经大量引进了蓝宝石晶体生长设备，工艺方法包括KY法，HEM法，EFG法，TGT法等，其中KY工艺生产效率高，技术成熟，可生长大尺寸高质量晶锭，生产成本低，但是在严峻的经济形势下，LED的加工制造对于衬底片的成本要求更加苛刻，而蓝宝石衬底片的加工成本主要来自长晶环节，在长晶的过程中，晶体生长炉的耗材成本直接决定着蓝宝石衬底片的加工成本。在初期，国内的晶体生长厂家大多采购国外隔热屏和发热体，虽然这些厂家都已经将这些耗材国产化，成本有了明显的下降，但是没有从根本上降低耗材的成本。目前国内采用的热场结构三组隔热屏多为一体式结构，在达到报废期后，整套热场需要全部更换。耗材成本极高。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种新型蓝宝石晶体生长炉复合式隔热屏系统，用于改善蓝宝石晶体生长系统进行晶体生长的耗材成本。

为解决上述技术问题，本发明的技术方案为：一种新型蓝宝石晶体生长炉复合式隔热屏系统，包括侧隔热屏，顶部隔热屏和底部隔热屏，其特征在于，所述侧隔热屏由10-20层板材组成，通过悬挂件悬挂于炉壳上，所述顶部隔热屏由10-15层板材组成，直接放置于侧隔热屏上，所述底部隔热屏由10-15层板材组成，通过支架放置于下炉盖上。

上述一种新型蓝宝石晶体生长炉复合式隔热屏系统，其特征在于，所述侧隔热屏分为两部分，内层靠近发热体部分1-8层材质为钨，其余层材质为钼，所述顶部隔热屏分为两部分，最底层1-3层材质为钨，其余层材质为钼，所述底部隔热屏分为两部分，最上面1-3层材质为钨，其余层材质为钼。侧隔热屏到了报废期，拆掉两组发热体，更换第一组的1-8层钨屏即可，顶部隔热屏和底部隔热屏在达到报废期后，直接更换钨屏即可。

上述一种新型蓝宝石晶体生长炉复合式隔热屏系统，其特征在于，所述侧隔热屏通过公母悬挂件悬挂于炉壳上，悬挂件材质为钼，其上有悬挂件通孔6个，发热体电极槽6个，侧隔热屏各层中间通过波浪板保持各层间距，所述顶部隔热屏各层通过钼杆连接成为一个整体，用小型钼块穿在钼杆上，置于各层之间，保持各层板材的间距，所述底部隔热屏各层通过钼杆连接组成一个整体，用小型钼块穿在钼杆上，置于各层之间，保持各层板材的间距。

上述一种新型蓝宝石晶体生长炉复合式隔热屏系统，其特征在于，所述顶部隔热屏在中心部位开有籽晶通孔，以使籽晶杆和籽晶能从中通过。

上述一种新型蓝宝石晶体生长炉复合式隔热屏系统，其特征在于，所述侧隔热屏，顶部隔热屏和底部隔热屏所使用的钨板和钼板，纯度均为99.95％，厚度均为0.5mm至5mm，板间距均为0.5mm至5mm。

本发明的优点在于：复合式隔热屏系统采用分体式可拆卸结构，极大地降低了蓝宝石生长系统的耗材成本。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。

图1是蓝宝石晶体生长系统整体示意图。

图2是侧隔热屏俯视图示意图。

图3是侧隔热屏侧视图示意图。

图4是侧隔热屏悬挂件示意图。

图5是顶部隔热屏主视图示意图。

图6是顶部隔热屏俯视图示意图。

图7是底部隔热屏主视图示意图。

图8是底部隔热屏俯视图示意图。

具体实施方式